판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634889

LAM RESEARCH 2300 Kiyo는 반도체 산업에서 사용되는 etcher 또는 asher입니다. 주로 표면을 에치 (etch) 하거나 패턴 (pattern) 하고 개구부를 만들어 반도체 제조 공정의 다결정 실리콘, 폴리 사이드 게이트 스택, 폴리 이마이드 필름 등의 재료에서 패턴을 형성합니다. 또한 다른 표면에서 산화물, 폴리 이미 드 및 기타 물질 필름을 제거합니다. 2300 Kiyo는 반자동 기계로, 한 번에 최대 10 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 에치 레이트 (etch rate) 와 타이밍 (timing) 을 정확하게 제어 할 수있는 정확한 엔드 포인트 검출기를 특징으로하며, 0.5 ° F 이내까지 정확한 온도 조절을 가능하게하는 닫힌 루프 반응 온도 조절을 제공합니다. 또한, 기계는 입자 시스템이 낮기 때문에 입자 오염이 최소화되고 수율이 일관됩니다. LAM RESEARCH 2300 키요 (Kiyo) 에는 반도체 제조 공정에 이상적인 다양한 안전 기능이 있습니다. 에너지 효율이 높도록 설계되었으며, 공기 사용은 본질적으로 안전합니다. 또한, 이 기계는 위험한 지역에 대한 액세스를 제한하고, 인라인 (in-line) 연동 시스템은 의도하지 않은 방전을 방지하도록 설계되었습니다. 기계의 크기는 58x37x35 인치이며, 내부 챔버는 최대한의 전폭 균일성을 위해 4-up 디자인으로 배열되어 있습니다. 2300 키요 (Kiyo) 에는 에치 사이클 (etch cycle) 동안 어느 시점에서 웨이퍼의 에치 속도를 모니터링 할 수 있도록 함으로써 보다 정확한 에치 제트 (etch) 제어가 내장 된 탄소 제트 검출기가 내장되어 있습니다. 또한 목욕이없는 냉각 시스템이 있으므로 관련 유지 보수 비용을 줄일 수 있습니다. 결론적으로 LAM RESEARCH 2300 Kiyo는 안전과 정확성을 염두에두고 설계된 반자동 에처입니다. 이 다재다능한 에처는 낮은 입자 배출, 낮은 에너지 소비, 인라인 인터록 시스템, 내장 탄소 제트 탐지기 등 다양한 이점을 제공합니다. 반도체 업계에 적합하며, 안정적인 성능과 일관된 결과를 제공합니다.