판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Kiyo Metal #9296971

LAM RESEARCH 2300 Kiyo Metal
ID: 9296971
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Etcher, 12" 2009 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo Metal etcher/asher는 기판에 전기 도금 된 박막 제작을위한 안정적이고 효율적인 장비입니다. 2300 키요 메탈 (Kiyo Metal) 은 다중 프로세스 작동을 가능하게 하는 통합 모듈식 설계를 통해, 더 빠른 생산률과 확장된 프로세스 기능을 제공합니다. 또한 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있으며 모든 처리 요구에 단일 챔버 (single chamber) 플랫폼을 사용합니다. LAM RESEARCH 2300 키요 메탈 (Kiyo Metal) 은 최대 1KW의 전원이 있으며 단일 사이클에서 최대 5 층의 코팅을 처리 할 수 있습니다. 또한 처리 온도 범위가 최대 400 ° C이며 총 2 가스 흐름 기능이 있습니다. 2300 키요 메탈 (Kiyo Metal) 은 또한 다양한 프로세스 기능을 특징으로하며, 에치 레이트 범위는 최대 1000ôm/hr, 두께는 최대 20äm입니다. LAM RESEARCH 2300 Kiyo Metal은 기판에서 금속을 퇴적하고 제거하는 다재다능한 도구입니다. 박막 패턴과 모양에서 타이트한 선 너비 (tight line width) 와 공차 (tolerance) 에 이르는 재료 레이어를 선택적으로 제거하는 고해상도 에치/애쉬 (etch/ash) 기능이 포함되어 있습니다. 또한 건식 필름, 전기 도금, 박막 증착과 같은 도금 및 박막 증착 공정에 사용할 수 있습니다. 2300 키요 메탈 (Kiyo Metal) 에는 다양한 어플리케이션에 대한 정확한 에치 및 예금 레시피를 가능하게하기 위해 저거리 pH 모니터가 장착되어 있습니다. 또한 프로세스 모니터링 시스템 (process monitoring system) 을 통해 최적의 균일성을 위해 프로세스 단계를 세밀하게 튜닝할 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 키요 메탈 (Kiyo Metal) 은 지속적인 처리를 위해 빠른 워밍업 시간과 빠른 열 시간 상수를 가지며, 강력한 제어 시스템은 생산 프로세스에 반복 가능한 정확성과 정밀도를 제공합니다. 2300 Kiyo Metal은 CE 인증을 받았으며 광범위한 잠재적 인 사용자 및 제조 프로세스를 위해 설계되었습니다. OLED 디스플레이, FR-4 패널 또는 일반 회로 보드의 마이크로패터닝에서 정밀 전자 및 MEMS 장치를위한 고정밀 코팅까지. LAM RESEARCH 2300 Kiyo Metal은 자동차, 통신, 항공 우주, 광자, 생명 과학 및 기타 첨단 응용 프로그램과 같은 산업의 다양한 기판에서 박막 제작에 이상적인 에처/애셔입니다. 그 특징과 성능은 최고 수준의 박막 (Thin Film) 처리를 원하는 고객에게 적합한 선택입니다.
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