판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #9265975

LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX는 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 Plasma Etch & Asher 장비입니다. 이 신뢰할 수있는 시스템은 고성능 플라즈마 소스, 풀 사이즈 자외선 (UV) 램프, 기능이 풍부한 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 2300 Kiyo MCX는 반도체 장치의 에칭을 위해 설계되었으며 산업 표준 C2F6, NF3 및 SF6 가스뿐만 아니라 고출력 13.56MHz HF 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 또한 실리콘, 쿼츠, SiGe, SiN, SiO2, TiN, TiO2, Al, NiCr 및 더 많은 재료의 에칭을 지원합니다. 이 장치에는 완전 자동 사용자 인터페이스 (fully-automated user interface) 가 포함되어 있어 프로세스 레시피를 빠르고 쉽게 설정, 모니터링 및 수정할 수 있습니다. 또한 가스 제어 자동화 (gas control automation) 를 통해 운영자의 개입을 최소화하면서 빠르고 일관된 프로세스를 수행할 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX는 또한 최대 8 개의 레시피의 프로세스 조건을 동시에 제어하고 제어할 수 있으므로 처리 유연성과 처리량이 향상됩니다. 이 기계는 운영 비용이 저렴하며, 전력 소비가 적어 에너지 효율적입니다. 고효율 가스 (gas delivery) 툴을 통해 가스의 흐름을 일정하게 유지함으로써 소재 비용을 절감할 수 있습니다. 이 자산에는 운영 안전 향상 (Operating Safety) 을 위해 처리 전후의 자동 모델 점검 (Automated Model Check) 과 같은 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 이러한 기능은 정확한 프로세스 컨트롤과 함께 2300 Kiyo MCX를 많은 산업에 이상적인 에칭 및 애싱 솔루션으로 만듭니다.