판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #293609176

LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX는 다양한 반도체 재료의 높은 처리량, 정확한 에칭을 위해 설계된 고급 에칭/애셔 장비입니다. 2300 Kiyo MCX는 최대 2 개의 공정 챔버와 전송 챔버를 갖춘 견고한 이중 구획 디자인을 갖추고 있습니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 은 모든 프로세스 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있으므로 증착/에칭 작업을 정확하게 제어할 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 키요 (Kiyo) MCX에는 정교한 실시간 모니터링 및 제어 장치도 포함되어 있어, 최적의 성능을 보장하기 위해 매개변수를 자동으로 조정할 수 있습니다. 2300 Kiyo MCX에는 고급 에칭/애싱 (etching/ashing) 기능이 장착되어 있으며 높은 처리량으로 고품질 에치 결과를 낼 수 있습니다. 이 기계에는 듀얼 펄스 생성기와 개방형 Trench Chamber 디자인이 장착 된 3D 에치/애쉬 (etch/ash) 도구가 포함되어 있으며, 사용자는 처리 재료의 유연성이 뛰어납니다. 또한 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX는 원자층 증착 (ALD) 및 화학 증착 (CVD) 과 같은 고급 재료 증착에도 사용될 수 있습니다. 2300 Kiyo MCX는 -25 ° C ~ + 80 ° C의 온도에서 직경 300mm의 기판을 처리 할 수 있습니다. 에셋은 또한 압력 라인 종료 (pressure line shutdown), 빠른 퍼지 사이클 (purge cycle) 및 낮은 드리프트 모델 (drift model) 을 갖추고 있어 정확한 처리 결과를 보장합니다. 또한 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX에는 자동 청소 장비와 자동 챔버 개방/폐쇄 시스템이 장착되어 있어 다운타임을 줄이고 생산 속도를 향상시킵니다. 2300 Kiyo MCX etcher/asher 유닛은 처리량이 뛰어난 효율적이고 정밀한 에칭 프로세스를 제공하여 사용자가 극한의 상황에서도 프로세스 정밀도를 달성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 실시간 모니터링 및 제어, 빠른 퍼지 사이클 (purge cycle), 낮은 드리프트 시스템 (drift system) 및 높은 처리량 (throughput) 과 같은 고급 기능을 제공하여 사용자가 짧은 시간 내에 고품질 에치 결과와 고품질 재료를 생산할 수 있도록 도와줍니다. 또한, 사용자는 이 도구를 사용하여 프로세스 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있으며, 따라서 설정을 쉽게 조정할 수 있습니다.