판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157501
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LAM RESEARCH 2300 Flex는 최첨단 에처 및 애셔로, 반도체에서 연구 및 실험실 사용에 이르기까지 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 2300 Flex는 고성능 쿼츠 부품, 쿼츠 벨로우 (quartz bellows), 스테인리스 (stainless) 스틸 공정 챔버, 견고한 냉장 공정 냉각 장비와 같은 고성능 구성 요소를 통해 탁월한 성능과 유연성을 제공합니다. LAM RESEARCH 2300 Flex (LAM RESEARCH 2300 Flex) 는 최고의 진공 수준을 유지할 수있는 공정 챔버를 갖춘 뛰어난 웨이퍼 처리 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 직경이 최대 8 인치인 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형과 크기를 처리할 수있는 2300 플렉스 (Flex) 는 가장 유연한 에칭 및 애싱 시스템 중 하나입니다. 또한 고급 타원법 (Ellipsometry) 및 광학 기능을 사용하여 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Flex (LAM RESEARCH 2300 Flex) 는 몇 가지 사용자에게 친숙한 컨트롤을 제공하며, 에칭 및 어싱 프로세스를 제어하기 위한 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스입니다. 이 시스템은 자동 프로세스 모드 (Automatic Process Mode) 와 수동 프로세스 모드 (Manual Process Mode) 를 모두 제공하여 정확한 제어와 프로세스를 빠르게 전환할 수 있습니다. 또한 2300 Flex 는 온보드 리더와 원격 인터페이스를 모두 사용하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 모니터링합니다. LAM RESEARCH 2300 Flex (LAM RESEARCH 2300 Flex) 는 다양한 기판 재료와의 호환성을 보장하기 위해 다양한 프로세스 모듈로 설계되었으며, 프로세스 효율성 및 안정성 향상을 위한 빠른 단계별 처리 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 직관적 인 온보드 레시피 생성 머신 (On Board Recipe Generation Machine) 을 갖추고 있으며, 사용자가 에칭 및 애싱 레시피를 빠르게 만들고 저장할 수 있습니다. 이 도구는 프로세스 진단 (diagnostics) 패키지가 내장되어 있어 프로세스 실패의 근본적인 원인을 빠르고 쉽게 파악할 수 있도록 설계되었습니다. 마지막으로, 2300 Flex는 공간 및 에너지 요구 사항을 최소화하는 내장 진공 펌프, 냉각수 펌프, 가스 조절기를 갖춘 사용 편의성 및 설치를 위해 설계되었습니다. 전반적인 구성은 직관적이고 유연하며 다양한 어플리케이션에 적합합니다. LAM RESEARCH 2300 Flex는 LAM RESEARCH 품질 보증 및 서비스 및 지원 팀의 지원을 받습니다.
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