판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157494

LAM RESEARCH 2300 Flex Etcher/Asher는 효율적이고 정확한 프로세스 제어를 위해 설계된 널리 사용되는 고급 플라즈마 에칭 및 플라즈마 클리닝 플랫폼입니다. 멀티 챔버 시퀀스 레시피 (multi-chamber sequence recipe) 를 실행하고 안정적으로 반복 가능한 프로세스에서 균일 한 에치 (etch) 또는 클린 (clean) 을 적용 할 수 있습니다. 이 장비는 고급 플라즈마 (Plasma) 기술을 사용하여 정확한 제어를 통해 다양한 재료를 배치, 에치, 청소합니다. 반도체, MEMS, 전자 및 광전자 산업의 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 이 시스템에는 3 개의 모듈 (프로세스 모듈, 스토리지 모듈, 게이트 밸브 모듈) 을 갖춘 5 축 기계식 전송 장치가 장착되어 있어 고성능을 제공합니다. 각 모듈은 고유한 프로세스의 장점과 기능을 제공합니다. 공정 모듈 (Process module) 은 반응성 이온 (reactive ion) 및 에치 화학 물질 (etch chemistry) 과 같은 다양한 공정 가스를 제공하여 사용자가 고온, RF 및 DC 전력 수준을 포함한 다른 에칭 조건을 설정할 수 있도록 합니다. 스토리지 모듈을 사용하면 밀봉된 주변 모듈 (Sealed Ambient Module) 또는 청소 환경 (Cleanroom Environment) 에서 처리 또는 저장을 위한 기판을 동적 로드 및 언로드할 수 있습니다. 마지막으로, 게이트 밸브 모듈을 사용하면 중첩 프로세스에 대한 빠른 격리 및 가스 라인 전환이 가능합니다. 2300 Flex 는 사용자에게 친숙한 다중 레벨 자동화 머신 (Multi-Level Automation Machine) 을 탑재하여 레시피 (Recipe) 를 정의하고 프로세스 매개변수를 제어할 수 있으므로 처리량을 효과적으로 향상시키고 최적화할 수 있습니다. 또한 고급 모니터링 (monitor) 및 진단 도구 (diagnostic tools) 가 장착되어 있어 프로세스 가시성과 프로세스 안정성과 신뢰성을 높이기 위해 매개 변수를 조정 및 수정하는 실시간 피드백을 제공합니다. LAM RESEARCH 2300 Flex (LAM RESEARCH 2300 Flex) 는 신뢰할 수 있는 프로세스 툴로서 다양한 프로세스 제어 기능을 통해 정확하고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 고급 멀티 챔버 시퀀스 (Multi-Chamber Sequence) 설계를 채택하여, 하나의 도구에 다양한 에칭 및 클리닝 응용 프로그램의 통합을 지원합니다. 강력한 아키텍처는 기계적 전송 (Mechanical Transport) 및 자동화 (Automation) 시스템을 모두 지원하므로 프로세스 매개변수를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 비용 절감, 가동 시간 향상을 유지하면서 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 2300 Flex는 여러 시장의 요구를 충족하는 안정적이고 효율적인 etcher/asher입니다.