판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex #293604470
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LAM RESEARCH 2300 Flex Asher/Etcher는 뛰어난 신뢰성과 향상된 처리 성능을 제공하는 고급 화학 에칭/애싱 장비입니다. 이 시스템은 다양한 웨이퍼 (wafer) 와 기판 (substrate) 을 처리할 수 있으며 뛰어난 프로세스 제어와 정확도를 제공합니다. 2300 Flex 는 사용자 친화적이며 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 장치에는 에치 챔버 (etch chamber) 와 힌지 후드 (hinged hood) 가 포함되어 전체 공정 챔버에 쉽게 접근 할 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Flex는 탁월한 온도 조절을 제공하며 온도 조절 정확도는 섭씨 1도 이내입니다. 이 기계는 또한 화학적 피드 제어를 위한 다수의 분배 밸브 (distributive valv) 와 웨이퍼 (wafer) 로드 및 언로드 플랫폼을 제공하기 위해 내장 피드 툴을 갖추고 있습니다. 또한 2300 Flex 는 다양한 고급 자산 기능을 통해 프로세스 성능을 향상시킵니다. 향상된 프로세스 제어를 위한 주요 재료 특성을 식별하는 MPD (Material Parameter Determination) 기능이 있습니다. 이 모델에는 모든 에칭 (etching) 시간과 온도를 제어하는 자동화된 프로세스 컨트롤러 (process controller) 가 있어 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 애셔/에처 (Asher/Etcher) 는 또한 가스를 직접 전달하고 반응 실에 배기 할 수있는 고급 가스 전달 장비를 사용합니다. 이를 통해 프로세스 안정성, 웨이퍼 균일성 및 전반적인 프로세스 효율성이 더욱 향상됩니다. 이 시스템에는 또한 여러 개의 여과/분리 및 격리 시스템이 있으며, 이는 연산자를 보호하고 높은 공정 품질을 유지하는 데 도움이됩니다. LAM RESEARCH 2300 Flex의 다른 기능에는 최첨단 웨이퍼 처리 장치가 포함되어 있으며, 최대 6 "크기의 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 자동 척 온도를 가지고 있으며, 균질하고 반복 가능한 결과를 보장하며, 프로세스 반복 가능성 향상을 위해 자동 조정 동요를 제공합니다. 전체적으로, 2300 Flex Asher/Etcher는 강력하고, 유연하며, 사용자 친화적 인 도구로, 다양한 기판과 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. 리서치/프로덕션 환경을 위한 탁월한 선택이며, 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다.
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