판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270660

LAM RESEARCH 2300 Flex EX는 단일 웨이퍼 에처 및 애셔 장비로 다양한 에칭 및 애셔 가스에 대한 빠른 에칭 및 애싱 속도를 제공합니다. 이 시스템은 최고 품질의 etch 및 ash 결과를 보장하는 고급 FE (Feature Extraction) 기술을 제공합니다. FE 는 각 Wafer 의 프로세스 매개 변수를 자동으로 조정하여 일관된 결과를 보장하고 처리량을 최대화합니다. 또한 LAM 2300 Flex EX는 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 레시피를 쉽게 설정할 수 있으며 프로세스 매개변수를 빠르고 정확하게 수정할 수 있습니다. 이 장치의 플랫폼은 습식 에치, 드라이 에치, 사전 수동 에치, 딥 에치, 코너 릴리프 에칭 등 다양한 에치 및 애쉬 용량을 제공합니다. LAM LAM RESEARCH 2300 Flex EX는 다양한 다중 계층 에치 프로세스에 효과적입니다. 0.5 미크론만큼 얇은 금속, 복잡한 클리어런스 모양, 드릴링 및 전기 화학적으로 에칭 된 구멍을 다룰 수 있습니다. 고급 산화 및 처킹 기술은 애싱 (ashing) 과정을 더 잘 제어합니다. 온보드 온도 모니터와 통합 ashing 진단 유틸리티는 프로세스 성능을 최적화하는 데 도움이 됩니다. 시스템의 유지 보수 기능에는 자동 예방 유지 관리 (APM) 루틴, 온보드 진단, 실시간 매개 변수 모니터링, 소프트웨어 업데이트 지원 도구 액세스 등이 포함됩니다. LAM 2300 Flex EX (Flex EX) 는 빠르고 정확한 가스 배송을 가능하게 하며, 고급 안전 기능은 사용자의 안전성을 보장하고 규정 표준을 준수합니다. 이 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 자산은 대용량 생산 및 비용 효율적인 에치 및 애쉬 성능에 대한 지속적으로 증가하는 요구를 충족시킵니다.