판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9227341

LAM RESEARCH 2300 Flex EX는 대용량 생산 요구를 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 다양한 기판에서 뛰어난 품질, 정밀 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 2300 Flex EX는 진공 밀봉, 화학 내성 챔버로, 완전히 자동화되어 작동을 단순화하고 프로세스 안정성을 향상시킵니다. 이 폐쇄 루프 (closed-loop) 장비는 이중 오염 제어 기능이있는 반응성 및 독성 물질을위한 깨끗하고 안전한 증발 챔버를 제공합니다. 통합 환경 모니터링 시스템은 프로세스 안전을 위해 내장되어 있습니다. 큰 챔버는 큰 기판 크기를 허용하며, 최대 12 "x12" x6 "스테인리스 스틸 또는 쿼츠 기판과 6" 쿼츠 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 효과적인 균일성, 적용 범위 및 식각 기능을 위해 LAM RESEARCH 2300 Flex EX는 최대 6 단계 및 12 개의 가스로 etch 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 장치에는 터보 분자 펌핑 머신 (turbo-molecular pumping machine) 또는 로터리 백킹 펌프 (rotary backing pump) 와 크리오 펌프 (cryo-pump) 의 조합으로 2 개의 고성능 가스 소스를 선택할 수 있습니다. 또한 2300 Flex EX (Flex EX) 는 다양한 프로세스 및 에칭 구성을 갖춘 완전히 프로그래밍 가능한 프로세스 챔버를 갖춘 고급 제어 도구를 갖추고 있습니다. 또한 실시간 온도 및 압력 모니터링 (Pressure Monitoring) 자산이 있어 데이터 수집 속도가 빠르고 정확하며 운영 및 문제 해결이 간편한 다양한 내장형 진단/자체 테스트 (Diagnostic/Self-Test) 기능을 제공합니다. 최신 하드웨어 및 소프트웨어를 사용하는 LAM RESEARCH 2300 플렉스 엑스 (Flex EX) 는 경제적인 비용으로 다용성과 신뢰성을 제공하므로 여러 기판 재료 및 프로세스 어플리케이션을 위한 완벽한 에칭 및 애싱 (etching) 솔루션입니다. 단순화된 운영 및 안전 중심의 설계로 2300 Flex EX는 안정적이고 고성능 프로덕션 솔루션을 제공합니다.