판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9261420
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 뛰어난 금속 에칭 및 애싱 성능을 제공하도록 설계된 에처 또는 애셔 장비입니다. 이 제품은 웨이퍼 표면에 정확한 빔 전달을 가능하게하는 고성능 갈바노미터 (galvanometer) 기반 스캔 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 193 nm에서 45 mJ 펄스 에너지, 248 nm에서 20 mJ 펄스 에너지 순서로 발생하는 이중 파장 레이저가 장착되어 있으며, 고 에너지 펄스를 통해 매우 선택적인 에치/애쉬 (etch/ash) 를 제공하는 반면, 매우 짧은 노출 시간. 2300 Flex 45에는 고급 Edge Detection 및 Blanking 기능이 포함되어 있어 기계가 레이저를 기판의 가장자리에만 집중할 수 있습니다. 동적 스캔 속도 제어를 통해 에치/애쉬 속도 (etch/ash speed) 를 일정하게 유지하면서 최적의 에치/애쉬 결과를 보장합니다. 또한 염소, 플루오린, 산소와 같은 다양한 에치/애쉬 가스 (etch/ash gase) 를 정확한 유속 및 주입 주제의 시간으로 전달하는 향상된 가스 전달 도구를 갖추고 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 2300 Flex 45에는 자동 빔 중심 및 빔 포인팅 기능이 결합하여 빠른 자동화를 보장합니다. 빠른 웨이퍼 로딩 및 언로드 메커니즘이 특징이며, 최신 RESEARCH 기능을 통해 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 또한, 운영 구성 도구를 통해 사용자는 구성 요소의 개별 설정을 조정하지 않고도 에치/애쉬 프로세스 매개변수 (예: 가스 흐름, 빔 파워, 노출 시간, 에지 감지) 를 제어 할 수 있습니다. 2300 Flex 45는 생산 응용 프로그램뿐만 아니라 연구에 적합하며, 탁월한 에치/애쉬 성능을 제공합니다.
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