판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9258558

LAM RESEARCH 2300 Flex 45
ID: 9258558
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Etcher, 12" 2013 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 반도체 업계에서 가장 엄격한 사진 분석 요건을 충족하도록 설계된 고성능 etcher/asher입니다. 이 장비는 기판 표면의 재료를 안정적이고 효율적인 방식으로 에치 (etch), 배치 (deposit) 및 스트립 (strip) 하도록 특별히 설계되었습니다. 그것 은 지성 있는 장비 로서, 변화 하는 "프로세스 '에 적응 하도록 설계 되었으며, 매우 다양 한 기판 들 을 처리 할 수 있게 되었다. 플렉스 45 (Flex 45) 는 확장 가능한 도구로서, 시스템을 photolithography 프로세스 내에서 거의 모든 응용 프로그램에 맞게 구성할 수 있습니다. 이 도구는 45도 경사를 특징으로하며, 일반 에치 기술보다 얕은 각도로 에칭 할 수 있습니다. 이렇게 하면 보다 정확하고 정밀하게 피쳐를 에칭할 수 있습니다. 이 장치에는 45도 모따기가 있으며, 마이크로칩 (Microchip) 과 같은 밀도 높은 메모리 장치에 필요한 보다 효율적이고 균일한 라인 너비를 만들 수 있습니다. 기계에 설계된 고급 피드 포워드 (feed-forward) 및 피드 백 (feed-back) 컨트롤은 보다 정밀하고 정확한지 확인합니다. 이 도구를 사용하면 현재 기판에서 '학습 (learn)' 할 수 있으며, 프로세스를 가장 잘 구성하는 동적 조정이 가능합니다. 에셋은 또한 마스킹 재료 또는 산화물을 비 자기/전도성 장치 (예: 트랜지스터) 에서 분리하는 고급 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 이것은 활성 면 각도 에칭 (etching) 을 통해 수행되며, 이는 단단한 치수 제어로 2 차원 각도 프로파일을 만들 수 있습니다. Flex 45는 강력한 etcher/asher이며 금속, 질화물, 산화물 및 규산염을 포함한 거의 모든 물질을 에치 할 수 있습니다. 고급 사용자 친화적 인 제어 구조를 통해 모델을 최소한의 경험과 훈련으로 작동 할 수 있습니다. 이 장비는 설정 시간을 단축하기 위해 설계되었으며, 필요한 경우 신속한 문제 해결 및 조정을 위한 다양한 진단 (diagnostic) 옵션을 제공합니다. 2300 Flex 45는 고급 기능과 옵션을 갖춘 효율적인 에처/애셔입니다. 강력한 머신은 대규모와 소규모의 모든 에칭 (etching) 작업에 대해 정확한 에칭 기능을 제공하기 위해 단단히 통합되고 설계되었습니다. 이 장비는 모든 제조 및 생산 요구에 이상적이며, 프로세스 전반에 걸쳐 일관성 (Consistency) 과 정확성을 보장합니다.
아직 리뷰가 없습니다