판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9258555

LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 전문가 등급 etcher의 기능과 정밀 asher의 기능을 결합한 차세대 etcher/asher입니다. 이 제품은 추가 대형 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 와 통합 슬릿 포커스 (Slit-focus) 및 최고 (Top-emitter) 기술로 설계되어 뛰어난 고성능 에치를 제공합니다. 2300 Flex 45는 안정적이고 일관된 etch를 위해 강력하고 강력한 50kW RF 소스를 제공하여 생산성 및 프로세스 제어를 극대화합니다. 플라즈마 챔버 (Plasma Chamber) 의 용량은 최대 180 리터이며, 더 큰 에치 작업에 이상적입니다. 지능형 슬릿 스텝 감지 (Intelligent Slit Step Detection) 및 연속 (Continuous) 모드에서 개별 에칭 실행에 참여하는 기능 등의 기능은 사용자가 에치 작업을 관리하고 가장 효율적이고 경제적인 결과를 얻을 수 있음을 의미합니다. 사전 구성된 웨이퍼 간격 알고리즘은 각 웨이퍼에 대해 올바른 etch 간격을 적용합니다. 이 장비는 또한 이온-에너지 차별 설정을 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 이온-기반 불순물 제거를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이는 장기 사이클 수명으로 더 깨끗한 에치를 보장합니다. 자동화된 프로세스 제어 시스템 (Automated Process Control System) 을 통해 사용자는 최적의 에치 결과를 보장하기 위해 프로세스 매개변수를 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 장치에는 최대 10 개의 레시피를 저장하고 즉시 검색하는 기판 메모리가 포함됩니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45에는 완전 자동 온도 조절 머신 (Temperated Temperated Control Machine) 도 있습니다. 또한, 빠른 클리닝 사이클 (clean cycle) 기능을 통해 빠른 클리닝 주기를 제공하고, 자동 플러시 (flush) 도구를 통해 etcher 내부가 etch 주기 사이에 철저히 클리닝됩니다. 2300 Flex 45는 강력하고 신뢰할 수있는 etcher/asher로, 사용하기 쉽고 뛰어난 에칭 결과를 제공합니다. 첨단 (최첨단) 기능과 첨단 기술로, 산업 및 상업용 에칭 어플리케이션에 이상적입니다. 최대 제어 및 안정성을 제공하여 향상된 에치 (etch) 결과 및 확장 된 에치 수명을 보장합니다.