판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9258543

LAM RESEARCH 2300 Flex 45
ID: 9258543
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Etcher, 12" 2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 완전 자동화 된 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 갈륨 비소, 유전체, 폴리머 등 다양한 기판을 에칭하기위한 고성능, 비용 효율적인 솔루션입니다. 2300 Flex 45 (최대 8cm 크기) 의 기판 직경을 최대 8cm (최대 8cm 크기) 의 기판 직경으로 설정합니다. 이 장치는 요구 사항에 따라 100 mV/min에서 2 V/min까지 다양한 에칭 조건에서 높은 에치 속도를 달성 할 수 있습니다. 또한 저압, 고감도 래스터화 및 가변 경화 단계를 특징으로하며, 각 특정 에칭 프로세스에 맞게 최적화 할 수 있습니다. 높은 에치 속도 기능 외에도 LAM RESEARCH 2300 Flex 45에는 몇 가지 다른 기능이 있으며, 이를 정확한 에칭에 이상적인 도구로 만듭니다. 고급 PLC (programmable logic controller) 는 기판 로딩에서 관련 화학 공정으로 에칭 단계를 완전히 자동화 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 온도를 보장하는 내부 온도 제어 도구 (internal temperature control tool) 를 가지고 있으므로 일관되게 고품질의 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 또한 "아크 이젝터 (arc ejector)" 모델 (chemical fume inhalation) 의 위험을 줄이기 위해 "아크 이젝터 (arc ejector)" 모델과 같은 고급 안전 기능을 특징으로하며, 활성 지상 결함이 발생할 경우 전기 회로를 비활성화하는 내장 지상 결함 안전 인터 록이 있습니다. 2300 플렉스 45 (Flex 45) 는 또한 에치 레이트의 변형을 모니터링하고 프로세스의 잠재적 인 문제를 경고하는 디지털 경보 장비를 갖추고 있습니다. 이 비용 효율적인 에칭 시스템은 정밀성 (precision) 과 반복성 (repeatability) 측면에서 모든 에칭 프로젝트에 이상적인 선택입니다. 반도체, 금속화 또는 표면 접착층을 에칭해야하든, LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 완벽한 솔루션입니다.
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