판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255641

LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 플라즈마 에칭 및 플라즈마 애싱 프로세스를 위해 특별히 설계된 에처/애셔입니다. 플렉스 (FLEX) 시리즈의 에처/애셔 (etchers/ashers) 의 일부이며, 복잡한 고온 프로세스를 수행 할 때 우수한 플라즈마 균일 성과 높은 공정 정밀도를 특징으로합니다. 이 다중 단계 에처/애셔는 대용량 병렬 에칭 및 애싱 기능을 제공하여 처리량을 극대화합니다. 2300 Flex 45는 독점 EDGE 플라즈마 기술을 사용하여 장비가 뛰어난 스텝 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다. 이를 통해 뛰어난 기능 정의와 반복성이 가능합니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45에는 배치 모드 또는 단일 웨이퍼 처리를 위해 설계된 15 인치 직경의 처리 챔버가 있습니다. 고압 (High Pressure) 작동이 가능하며 최대 5 개의 프로세스 단계를 구성할 수 있습니다. 최대 2000 와트의 열 예산과 70 mTorr의 압력 예산을 처리하여 복잡한 처리를 허용합니다. 2300 Flex 45는 또한 LAM RESEARCH 최첨단 프로세스 자동화 기술을 통해 유연성과 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 정밀 dOsC 컨트롤러는 모든 단계에서 높은 프로세스 반복성과 완전한 웨이퍼 범위를 유지합니다. 높은 공정 품질을 보장하기 위해, 에처/애셔 (etcher/asher) 는 기울기 웨이퍼 척 (tilting wafer chuck) 과 에칭 및 재시 프로세스 동안 웨이퍼를 안전하게 유지하는 유연한 웨이퍼 홀딩 메커니즘을 특징으로합니다. 또한, 이 시스템에는 여러 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 단위 매개변수 (Unit Parameter) Overvoltage, 온도, 압력 및 기타 매개변수의 호스트를 모니터링하는 센서를 포함한 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이것은 기계에 안정성, 내구성 및 전반적인 성능의 우위를 부여합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 뛰어난 프로세스 경제성, 안전성을 제공하면서 효율성, 정확성이 높은 다양한 프로세스를 수행할 수있는 고급 etcher/asher 도구입니다. 대용량 플라즈마 처리 애플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.