판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255633

LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 다양한 에칭 및 증착 프로세스에 사용되는 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. 중간규모 챔버 (Mid-size Chamber) 에서 효율적이고 고성능 에칭 및 증착 프로세스를 제공하여 생산성을 향상시키도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 45cm 직경의 챔버와 LAM Evergreen® Long Life Batch Etched 고출력 RF 생성기가 포함되어 있어 원하는 프로세스 성능을 제공합니다. 공정 압력 범위는 15 mTorr ~ 550 mTorr이며 최대 온도는 최대 300 ° C입니다. 이 장치는 옵션 PFG (plasma fluoride generator) 를 사용하여 반사 방지 코팅 (ARC) 에서 습식 클리닝 프로세스에 이르기까지 여러 가지 에치 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 일련의 고급 자동화 기능과 고급 진공 레벨 진단 (Advanced Vacuum Level Diagnostics) 이 장착되어 있습니다. 로직 제어, 사용자 친화적인 소프트웨어를 통해 사용자는 프로세스 레시피 작성, 에칭 프로세스 설정, 모니터링, 결과 분석 등을 수행할 수 있습니다. 또한 자동화된 안전 절차, 내장된 안전 계전기 (Safety Relay) 를 갖춘 높은 수준의 업계 표준을 제공합니다. 고급 신호 조명 자산 (Advanced Signal Lighting Asset) 은 오작동의 연산자에게 경고하고, 경보 표시 (Alarm Sign) 는 잠재적 안전 문제를 보여 줍니다. 이 모델은 합금 에치, 고온 프로세스, 금속 에치 (etch) 와 같은 더 까다로운 에치 프로세스에 적합합니다. 2300 Flex 45는 보다 경제적인 중형 장비에서 고급 에치/증착 (etch/deposition) 프로세스를 찾는 반도체 및 MEMS 제조업체에 적합합니다.