판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255625
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45 (etcher/asher) 는 다양한 재료에서 광범위한 에칭 및 애싱 작업을 수행하도록 설계된 복잡한 다차원 에치 장비입니다. 그것 은 "웨이퍼 ', 호일, 박막 등 여러 가지 기판 으로 뛰어난 결과 를 낼 수 있다. 시스템의 다중 레벨 멀티 챔버 (multi-level multichamber) 설계는 에치 프로세스가 정확하고 효율적으로 수행되도록 합니다. 또한 2300 Flex 45에는 고급 에치 제어 기술 (Etch Control Technology) 이 포함되어 최대 2.5 µm 6의 깊이에 도달 할 수있는 정확하고 반복 가능한 프로세스가 제공됩니다. 이 장치는 향상된 플라즈마 가스 전달 기계 덕분에 고가로 비율 vias, 미세 선 패턴 및 복잡한 3D 구조를 식각 할 수 있습니다. 유연성은 또한 습식, 건조, 혼합 플라즈마 에칭을 포함한 광범위한 에치 레시피를 허용합니다. 또한 LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 정확한 압력 제어 도구를 사용하여 전체 기판에 걸쳐 정확한 플라즈마 밀도와 균일 한 에치 속도를 보장합니다. 또한, 에셋에는 직관적인 터치 스크린 사용자 인터페이스 (touchscreen user interface) 가 장착되어 있어 모델을 쉽게 설정하고 조작할 수 있습니다. 2300 Flex 45에는 다양한 안전 기능도 제공됩니다. 여기에는 비상 정지 기능, 오염 방지 장비 및 화재 경보 시스템이 포함됩니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 에는 모든 탈출 하는 "가스 '로부터 약실 을 보호 하도록 설계 된 진공 격리기 가 들어 있다. 마지막으로, 정확한 제어 도구는 정확한 프로세스 조건과 다른 에칭 레시피 (etching recipe) 간의 교차 오염 방지를 보장합니다. 결론적으로 LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 다양한 재료를 위해 설계된 정교한 에처/애셔입니다. 유연하고 다중 레벨 프로세스를 통해 정확한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 제공하며, 최고의 정확도 및 품질 표준을 충족할 수 있습니다. 고급 안전 (Safety) 기능과 진공 격리 자산 (Vacuum Containment Asset) 은 모델의 안전하고 효율적인 작동을 보장합니다. 마지막으로, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 에칭 (etching) 장비를 쉽게 조작하고 사용자 정의할 수 있습니다.
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