판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244870

LAM RESEARCH 2300 Flex 45 etcher/asher는 매우 다재다능한 고급 에치 및 재 장비입니다. 이 "시스템 '은 매우 다양 한 기판 과 재료 들 을 효율적 이고 신속 히 에치 (etch) 하고 재 를 넣도록 설계 되었다. 유연성을 갖춘 2300 Flex 45는 다양한 재료와 기판의 에칭, 애싱, 스트리핑, 애쉬 후 청소에 이상적입니다. 이 장치는 etchback 프로세스, photomask etching, back-side processing 등의 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 반복 가능하고 일관성 있고 매우 정확한 에치 및 재 처리를 위해 설계되었습니다. 고급 (advanced) 및 견고한 프로세스 제어를 활용하여 모든 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 런을 균일 한 결과를 제공합니다. 챔버 (chamber) 는 또한 최적의 에치 (etch) 매개변수를 유지하면서 기판 온도를 줄이는 데 도움이되는 고급 냉각 기술을 갖추고 있습니다. 2300 Flex 45는 고밀도 에치 화학에서도 전체 기질 전체에서 균일성을 보장하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45에는 고화질 프로세스 뷰 창이있는 큰 프로세스 챔버가 있습니다. 따라서 사용자는 실시간으로 전체 에칭 프로세스를 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 카메라가 필요에 따라 챔버 주위를 이동할 수 있도록 자동 팬 (auto-panning) 도구 (옵션) 를 사용하여 기계를 구성할 수도 있습니다. 멀티-건트리 로더 (옵션) 를 사용하면 최대 8 개의 웨이퍼를 동시에 로드하고 언로드할 수 있으며, 프로세스 처리량이 더욱 향상됩니다. 2300 Flex 45는 매우 구성 가능하며 전원, etch time, ash time, resist concentration, etch angle 및 backside illumination과 같은 여러 프로세스 매개변수로 세밀하게 조정할 수 있습니다. 오염 방지 실드, 고급 프로세스 모니터링 시스템, 레이저 연동 시스템 (옵션) 과 같은 추가 기능도 추가할 수 있습니다. 이러한 기능은 함께 작동하여 최적의 프로세스 실행 및 성능을 보장합니다. 이 에처/애셔 자산은 정확한 표준을 위해 만들어졌으며 신뢰성이 높습니다. 또한 프로세스 챔버 (Process Chamber) 의 유지 보수 및 가동 중지 시간을 최소화하여 최대 모델 가동 시간을 보장합니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 에칭 시스템에서 업계 최고의 이름 중 하나 인 LAM RESEARCH의 지원을받습니다.