판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244869
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 대용량 생산을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 열 예산이 적은 고급 에칭 및 애싱 기능이 특징입니다. 이 시스템은 특허를 획득한 동적 에치/애쉬 프로세스를 활용하여 최대의 유연성을 제공합니다. 고정밀도 및 고스루푸트 웨이퍼 처리를 위한 완벽한 솔루션입니다. 2300 Flex 45는 최대 12 인치 라운드로 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 최대 20 미크론까지 다이 크기를 처리 할 수 있습니다. 세 가지 에칭 (etching) 옵션을 제공하여 사용자는 특정 응용 프로그램에 필요한 프로세스 매개변수를 선택할 수 있습니다. 첫 번째 옵션은 저온 에칭으로, 플라즈마를 사용하여 얇은 다이 (die) 를 손상시킬 수있는 마이크로 충전 (micro-charge) 을 줄이는 부드러운 에치를 만듭니다. 두 번째 옵션은 고온 (high temperature) 에칭으로, 더 높은 온도와 열 에너지를 사용하여 보다 공격적이고 깊은 에치를 만듭니다. 세 번째 옵션은 하이브리드 에치/애쉬 (hybrid etch/ash) 프로세스로, 두 프로세스를 결합하여 더 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 다른 여러 가지 고급 기능을 자랑하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 이상적인 선택입니다. 내장 화학 혼합 장치는 사용자에게 에치/애쉬 (etch/ash) 결과를 최적화하기 위해 프로세스 화학을 변경할 수있는 기능을 제공합니다. 또한 온도, 압력 및 시간을 측정 할 수있는 다중 모드 피로미터가 특징입니다. 또한, 피로미터 (pyrometer) 는 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 실시간으로 모니터링하기 위해 웨이퍼 데이터의 그래픽 플롯을 표시하는 데 사용될 수 있습니다. 이 기계에는 사고 예방에 도움이 되는 긴급 차단 스위치 (Emergency Shutoff Switch) 및 압력 모니터링 도구 (Pressure Monitoring Tool) 와 같은 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 모듈 식 구조를 통해 유지 보수 및 업그레이드가 쉬워집니다. 자산은 특정 생산 요구를 충족시키기 위해 프로그래밍 될 수도 있습니다. 2300 Flex 45는 대용량 생산의 요구를 충족시킬 수 있는 신뢰할 수 있는 고성능 etcher/asher입니다. 이 모델의 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 기능, 낮은 열 예산 요구 사항, 유연한 프로세스 매개변수를 통해 애플리케이션을 에칭 및 애시하는 데 탁월한 선택이 가능합니다.
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