판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244839

LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 다양한 재료 처리에 사용되는 도구입니다. 리에 (Reactive Ion Etching, RIE) 를 사용하여 얇은 상단 재료 레이어를 제거하는 에처 또는 애셔입니다. 이 기술은 진공 근접 환경 (vacuum near-ambient environment) 에서 작동하며 표면의 빠르고 정확한 에칭 및 클리닝을 가능하게합니다. 2300 Flex 45는 단일 프로세스에서 최대 45% 의 에치 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 효율적인 에칭을 촉진하기 위해 내장 진공 펌프 및 기타 기능이 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 DRIE (deep reactive ion etching) 및 ICP (inductively coupled plasmas) 를 포함한 다른 에칭 도구와 병행하여 작동합니다. in-situ RIE (RIE-DRIE-ICP) 기능을 사용하여 지정된 프로세스의 매개 변수를 측정하고 예측합니다. 이것은 에칭 균일성과 배치 간 일관성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 또한 엔지니어가 즉석에서 조정할 수 있도록 함으로써 전체 프로세스 시간을 단축합니다. 2300 Flex 45에는 고정밀 전동 XYZ 단계가 포함되어 있으며, 모든 각도를 정밀하게 서비스 할 수 있습니다. 이로써, 기질의 정확한 깊이가 최대 100õm까지 매우 정확한 에칭이 가능합니다. 또한 내장형 온도 컨트롤러를 통해 엔지니어가 에치 타임 (etch time) 및 압력 (pressure) 과 같은 프로세스 매개변수를 제어할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 안전 인클로저와 접지 된 보호 전압 장치가 장착되어 있습니다. 이것은 작동 중에 운영자가 정전기 방전 (ESD) 을 방지하는 데 도움이됩니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 엔지니어가 다양한 재료를 에칭하도록 설계된 다용도 도구입니다. 유리, 석영, 금속, 중합체, 복합 재료 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 etch rate, endpoint selection, selectivity 등 다양한 처리 매개변수에서 뛰어난 균일성을 제공합니다. 궁극적으로 2300 Flex 45는 다양한 재료의 에칭 및 청소에 중요한 도구입니다.