판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9235155

LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 스루 홀 및 표면 실장 기술 장치를 제조하도록 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 금속 및 기타 재료의 제거 및 청소를위한 5 개의 단일 레벨 공정 화학 물질 (single-level process chemistry) 을 갖춘 모듈 식, 고도로 통합 된 시스템입니다. Flex 45는 IC 패키지, RFID 태그, 대형 기판, 고주파 IC와 같은 장치 유형의 빠른 회전 프로토타입 및 프로덕션 실행에 이상적입니다. Flex 45 etcher/asher에는 플라즈마를 사용하여 게르마늄, 주석, 구리, 티타늄, 알루미늄, 금 및 텅스텐을 포함한 다양한 금속의 표면을 청소하는 4 스테이션 공정 챔버가 있습니다. Flex 45는 두께가 0.1 ~ 1.75mm (0.004 ~ 0.069 인치) 인 처리 재료를 에칭 할 수 있으며 웨이퍼 두께는 최대 0.6mm (0.024 인치) 입니다. 이 장치의 5 가지 단일 레벨 공정 화학 물질에는 염소, 염화 수소, 육불화 황, 이불화 크세논 및 산소 플라스마가 포함됩니다. Flex 45에는 프로세스 모니터링 및 제어 기능도 장착되어 있습니다. 여기에는 35 개 이상의 센서에서 프로세스 데이터를 획득하여 제품의 균일성과 포괄적인 툴 제어를 보장하는 데이터 수집 머신 (data collection machine) 이 포함되어 있습니다. 또한 사용자 친화적 작동을 위한 고급 그래픽 소프트웨어 (Advanced Graphics Software) 를 사용하여 에칭 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. Flex 45에는 입자 제어를 위해 ISO 14644 클래스를 준수하는 클린 룸 (Cleanroom) 디자인을 포함하여 다양한 안전 및 환경 기능이 장착되어 있습니다. 플렉스 45 (Flex 45) 에는 쇼어 헤드 (showerhead) 기능이 장착되어 있어 이젝터 핀과 카세트 부품을 청소하여 깨끗한 작업 환경을 보장합니다. 또한이 자산은 지역 환경에 기판, 화학 물질, 오염 물질의 배출량이 적습니다. 2300 Flex 45는 최고 수준의 안전, 환경 보호, 성능을 유지하면서 고급 장치를 생산하도록 설계된 에칭 (etching) 모델입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 및 포괄적인 프로세스 모니터링/제어 기능과 결합된 정확한 에칭 (etching) 기능을 통해 정밀 장치 생산에 완벽한 툴이 될 수 있습니다.