판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #293640239
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ID: 293640239
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Etcher, 12"
RF Match
Missing PENDULUM INSTRUMENT Valve
EDWARDS STP-A2203C3
PENDULUM INSTRUMENT 65048-PH52-ADR1 Valve
Manometer:
CM1: E28D-30653 Range 0.1 Torr
CM2: 625A-14059 Range 10 Torr
CM3: 6254-14059 Range 10 Torr
AC Enclosure
Anapaizer board
DC Enclosure power supply
VME Enclosure
CPU VME 7671
Lon control board
VIOP Board step driver
Lonworks IP Server
RF Feed line
ESC Power supply
OES Cable
(3) Noad boards
Helium MFC
Photon controller
Capacitor control board
Interlock board
SCU-1600 TMP Controller
2 MHz, 5000 W Generator
27 MHz, 3000 W Generator
60 MHz, 2500 W Generator
EFEM:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot (151864CUR)
Aligner
Buffer
Cool station
Missing pump
Terminal server
OHT Sensor node board
AGV Node board
Ethernet server
UI Panel
AC Rack:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot controller (175789R)
UPS Power supply
Hard Disk Drive (HDD) Missing
PC
Monitor
Circuit breaker
Load port:
BROOKS AUTOMATION V2 (002-7200-29, 32)
LP1
LP2
LP3
VTM:
L-VAT Door: AL1, AL2 (07512-UA24-ADI2)
Angle valve: AL1, AL2, TM (MKS)
Pressure gauge: AL1, AL2, TM
Rocker valve: AL1, AL2, PM2, PM3, PM4
Magnatran7 VTM ROBOT
Solenoid valve
VTM Motherboard
Node board
Super slot board
GIB Gas box:
V2 (IGS Type)
Damper
No FIB
Gas line:
PM2: 571-033051-12535B1, Gas Line: 12
PM3: 571-033051-12535C1, Gas Line: 12
PM4: 571-033051-12535D1, Gas Line: 12
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
EFEM Pump
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 업계 최고의 반도체 제조업체 중 하나가 만든 고급 세대 etcher/asher입니다. 2300 Flex 45는 실리콘, 게르마늄, 갈륨 비소 및 기타 재료로 정확하고 안정적인 웨이퍼 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 제품 라인의 이 부분은 고품질 결과와 높은 생산성이 필수적인 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 챔버 당 최대 45 개의 웨이퍼를 사용할 수 있으며, 에칭 및 애싱 응용 프로그램을위한 별도의 포드를 사용하여 구성 할 수 있습니다. 에칭 (etching) 프로세스는 다른 시스템에서 사용할 수 없는 정밀도 및 반복성 수준을 제공하는 강력한 제어 장치 (power control unit) 에 의해 제어됩니다. 정확한 제어를 위해 2300 Flex 45는 특허를받은 비전 장비를 사용하여 웨이퍼의 패턴을 스캔하여 정확한 에칭 결과를 제공합니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45의 증착 챔버 (deposition chamber) 는 속도, 기판 온도 및 압력을 제어하여 균일성과 수율이 우수한 코팅을 만들 수 있습니다. 이 시스템은 강력한 설계로 유명하며, 이는 고수율 에칭 (etching) 뿐만 아니라 프로세스 처리 시간 단축 (turnaround time) 과 각 프로세스 간의 다운타임 최소화를 허용합니다. 이 장치의 설계는 또한 고온 재료 (low-temperature) 와 저온 재료 (low-temperature materials) 로 작업할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 균일 한 가스 분포 및 공정 온도 그라디언트 감소 (reduction of process temperature gradient) 를 보장하는 최적화 된 챔버 설계를 특징으로합니다. 2300 Flex 45 머신은 선택적 cryo-etching 유닛으로 구성 할 수도 있으며, 이는 에칭 프로세스에 극저온 요소를 추가합니다. LAM RESEARCH 2300 Flex 45 (LAM RESEARCH 2300 Flex 45) 는 반도체 업계의 최상위 계층 etcher/asher이며, 매우 강력하고 신뢰할 수있는 도구가 필요한 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 2300 Flex 45에는 균일하고, 반복 가능하며, 높은 수율 코팅을 만드는 다양한 강력한 기능이 있으며, 높은 공정 속도와 작동 온도를 유지합니다. 매우 정밀한 에칭과 재싱이 필요한 반도체 응용 프로그램의 경우 LAM RESEARCH 2300 Flex 45는 탁월한 선택입니다.
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