판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9249854

LAM RESEARCH 2300 Exelan은 반도체 웨이퍼에서 매우 정밀하고 작은 에칭 구조를 만드는 데 도움이되는 반도체 에처/애셔입니다. 반도체 장치 제조에 필요한 에칭, 산화물 스트리핑 및 기타 중요한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 2300 Exelan은 DC 전원 공급 장치와 고급 광학 검사 장비로 인해 +/- 3% 의 반복성을 가진 작은 기능의 고정밀 에칭을 제공합니다. 프로세스 윈도우가 넓어 여러 에칭 프로세스를 순차적으로 완료할 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Exelan에는 etching 프로세스 매개변수를 식별하고 제어할 수 있는 process control 패키지가 장착되어 있습니다. 2300 Exelan은 에칭 속도, 선택성, 균일성 및 임계 치수를 높은 정확도로 제어 할 수 있습니다. 에치 깊이는 +/- 150nm에서 매우 정확하며, 이는 LAM RESEARCH 2300 Exelan을 MEMS 장치 제작을위한 훌륭한 선택으로 만듭니다. 2300 엑셀란 (Exelan) 은 또한 에칭 중에 웨이퍼를 정확하고 안전하게 배치 할 수있는 클램핑 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 2300 Exelan을 배치 및 인라인 (in-line) 시스템 모두로 구성할 수 있어 유연성과 확장성을 제공합니다. 이 장치는 3 인치에서 6 인치 사이의 다른 크기의 웨이퍼에 적응할 수 있습니다. 2300 엑셀란 (Exelan) 은 또한 3D IC 제작을 위해 일부 에칭 재료의 녹는점에 도달 할 수있는 높은 온도 능력을 가지고 있습니다. LAM RESEARCH 2300 엑셀란 (Exelan) 은 신뢰성이 높으며 엄격한 작업 조건에서 일관된 성능을 보장하는 견고한 설계를 갖추고 있습니다. 운영 수명은 최대 30,000 웨이퍼 또는 최대 500 시간의 연속 실행 시간을 갖습니다. 이 기계는 또한 자동 제어 소프트웨어와 온도와 압력 모니터링 (Pressure Monitoring) 과 같은 내장형 Cleanroom 기능을 갖춘 사용자 친화적입니다. 전반적으로 LAM RESERACH 2300 Exelan은 매우 정밀하고 작은 기능의 반도체 장치를 제작하는 데 적합한 선택입니다. 정확성, 반복성 및 다재다능성으로 인해 MEMS 및 마이크로 일렉트로닉 구성 요소에 대한 최고의 에처/애셔가되었습니다.