판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9205123

LAM RESEARCH 2300 Exelan은 프로세스 개선 및 반복 성을 위해 특별히 만들어진 3 챔버 디자인의 멀티 챔버 (multi-chamber) 장비 인 에치 앤 애셔 (etch and asher) 조합 도구입니다. 이 시스템은 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 처리할 수 있으며, 뛰어난 정밀도 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공하여 여러 주기에 걸쳐 반복 가능한 결과를 제공합니다. 2300 Exelan은 고급 독립 챔버 (Independent Chamber) 제어 및 통합 냉각 장치를 통해 뛰어난 제어 및 프로세스 기능과 대규모 프로세스 창을 제공합니다. 또한, 통합 글러브 박스는 고부가가치 중요 명령에 대한 청결 처리를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 컨트롤은 매번 완벽한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 달성합니다. LAM RESEARCH 2300 엑셀란 (Exelan) 은 또한 다중 단계 프로세스 레시피를 사용하여 최고 수준의 에치 (etch) 반복 가능성과 가용성을 보장하여 가장 효과적인 에칭 결과를 제공합니다. 이 조합 도구는 또한 자동 튜브 스위칭, 구성 된 기판 로딩, 통합 캐리어 로딩을 제공하여 처리량을 높이고 생산성을 향상시킵니다. 2300 엑셀란 (Exelan) 은 완벽한 청소실 운영과 사용자 안전을 유지하는 고급 안전 및 환경 보호 시스템을 갖추고 있습니다. 모든 공정 "가스 ', 배기 가스 및 위험 물질 이 기계 의 통합 된 스크러빙 및 여과 장치 를 통하여 자동적 으로 전달 된다. 또한 이 툴에는 다양한 워크플로우 (work flow) 구성이 포함되어 있어 다양한 프로세스를 수용할 수 있는 유연성을 제공합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 2300 Exelan은 탁월한 정확성과 반복성을 갖춘 탁월한 기능을 제공하는 탁월한 에칭 및 애싱 도구입니다. 이 도구는 통합 안전 시스템 (Safety System), 종합적인 제어 기능 (Comprehensive Control) 및 다중 작업 흐름 구성 (Multiple Work Flow Configuration) 을 통해 다양한 애플리케이션에 적합하므로 모든 유형의 에치 (Etch) 및 애싱 (Ashing) 프로세스에 적합합니다.