판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9116018

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ID: 9116018
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
Dielectric etcher, 12" 1600 L/S Edwards turbo pump PM ISO Valve: Chemraz rocker valve NSR5247 A: Flex Configuration 2300 Exelan quick clean kit 2300 Exelan pend Valve kit 2300 Exelan gas box Regulated Inlet (per Gas Line) (12) Gas configuration Aera FC-D980CU MFC NSR5248_A: Line 11 100sccm O2/He (30%) Delta stacking kit 2300 Platform (3) FOUP WIDS BTM Read User interface: Side and front monitor System UPS circuitry Cable: TM-subpanel, 50FT SYS Calibration and alignment TM NSR 1: VTM Dynamic alignment Currently installed 2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan은 고급 반도체 부품 제조에 사용되는 최첨단 고품질 에처 및 애셔입니다. 고급 공정 제어 (Advanced Process Control), 독특한 클린 챔버 설계, 정밀 안테나 (Precision Antennae) 가 장착되어 있어 에칭 프로세스의 일관성과 정확성이 향상됩니다. 2300 Exelan은 고급 RF 리프트 오프 기술과 고해상도, 정밀한 이미징 시스템을 결합하여 정확한 에치 패턴을 생산합니다. 이 프로세스는 집적 회로 및 기타 전자 부품에 정확한 3 차원 지형을 만듭니다. 공정에서 사용되는 와트를 제어하고, 노출 시간을 조절함으로써, 에치 패턴 (etch pattern) 의 정확도를 제어 할 수있다. LAM RESEARCH 2300 Exelan의 독특한 클린 챔버 디자인은 프로세스 동안 최적의 청결을 보장합니다. 이 디자인은 스테인리스 스틸 패널 및 도어, 투명 관측 창, 이중 단계 여과 시스템, 낮은 입자 무결성 및 최적화된 공기 여과 흐름을 특징으로합니다. 이것은 오염을 줄이고, 수확량을 개선하고, 부식의 영향을 최소화하는 데 도움이됩니다. 2300 엑셀란 (Exelan) 은 운영자, 챔버 및 장비를 보호하기 위해 여러 가지 통합 안전 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 화재 감지, 온도 조절 및 압력 모니터링 시스템이 포함됩니다. 이렇게 하면 에칭 중인 부품에 대한 손상 위험을 최소화할 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Exelan에는 강력한 컨트롤러 장치가 있어 효율적이고 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 이렇게 하면 에칭 프로세스가 정밀하게 수행되고 일괄 처리 (batch-to-batch) 와 일관됩니다. 또한 컨트롤러 장치를 사용하면 온도, 압력, 전압, 전류 (current) 와 같은 프로세스를 손쉽게 모니터링할 수 있으며, 이를 통해 장치의 작동에 품질 관리 (Quality Control) 를 보장할 수 있습니다. 전체적으로, 2300 Exelan은 정확하고 안정적인 결과를 제공하기 위해 설계된 고급, 고품질 에칭 및 애싱 장치입니다. 첨단 기능으로 정확하고 정확한 에칭이 가능하며, 높은 수준의 안전 (Safety) 및 품질 관리 (Quality Control) 도 가능합니다. 이를 통해 LAM RESEARCH 2300 Exelan은 반도체 구성 요소를 에칭 및 해시하는 데 이상적인 도구입니다.
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