판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9083803
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ID: 9083803
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Oxide etcher, 8"
Cass nest plastic, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
(4) Process chambers:
Position 1: 2300 Exelan
Position 2: 2300 Exelan
Position 3: 2300 Exelan
Position 4: 2300 Exelan
Front end load port cassette:
(3) Open cassettes iPX
Backing pumps for TM iPX
User interface option: Side and front monitor UI
Earth leakage breaker ELB
Signal tower
SECS / GEM
Plat from type: Version 2
2300 Exelan options:
Chamber type: 2300 Exelan CFE
Upper electrode heated
ESC Cooling dual zone
1600 L/S EDWARDS Turbo pump, 8"
Endpoint detection optical emission spectroscopy
Chamber isolation valve rocker gate valve
2300 Gas box:
Gas system type: Enhanced gas box II
Std stacking kits: 4 PM stacking kit
Gas line 12 gas configuration
Gas box inlet option: Regulated inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Gas box configuration:
PM1 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM2 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm(Tuning gas)
PM3 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm(Tuning gas)
PM4 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
2300 Peripherals:
DFC Backing pumps cust supply
DFC TCU Config lam supply: (4) 4080 Plus
Gas scrubber: EBARA GTE-3-0WVT
Power distribution module: RPDB
Dry pumps:
TM EDWARDS iPX 100A
PM1 EBARA AA100W
PM2 EBARA AA100W
PM3 EBARA AA100W
PM4 EBARA AA100W
No SMIF interface
2004 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan은 반도체 장치의 대량 생산을 위해 특별히 설계된 기술적으로 진보 된 에처 및 애셔입니다. 엑셀란 (Exelan) 은 빠른 속도로 에칭 및 애싱 (ashing) 을 할 수 있지만 여전히 매우 정확한 결과를 제공합니다. 독특한 반수성 화학 공정은 일관되게 균일 한 구조와 표면 품질을 보장합니다. 이 장비는 실리콘 웨이퍼의 높은 처리량 에칭 및 재싱을 수행 할 수 있으며, 한 번에 최대 3 개의 200mm (8 인치) 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. Exelan 은 프로세스 자동화 작업을 위한 고급 프로세스 제어 및 통합 기능을 갖추고 있습니다. 고정밀 광학 화이트 라이트 시스템 (Optical White Light System) 을 사용하면 정밀도와 정확도로 에칭과 애싱을 수행 할 수 있습니다. 고급 자동화 머신 (Advanced Automation Machine) 은 지역화되고 유연한 제어 전략을 제공하여 다양한 프로세스 매개변수를 동시에 제어할 수 있습니다. 통합 로봇 암은 사이클 시간을 최소화하면서 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 기계의 소프트웨어 컨트롤은 다양한 프로세스 제어 및 통합 기능을 제공합니다.t에는 고정밀 광학 등록 시스템, 자동 안정화 제어 시스템, 정밀 웨이퍼 방향 시스템, 통합 로봇 암과 같은 다양한 변수가 포함됩니다. 이 도구에는 비슷한 처리 요구사항 (processing required) 을 가진 애플리케이션에 대해 액세스 및 재사용이 가능한 광범위한 레시피 라이브러리가 장착되어 있습니다. Exelan은 또한 포괄적인 프로세스, 진단 및 데이터 분석 기능을 제공합니다. 에셋에는 자동 웨이퍼 로드 및 언로드가있는 프로세스 미니로봇이 있습니다. 또한 모델에는 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 모니터링 및 분석 할 수 있는 진단 도구가 내장되어 있습니다. 이 장비는 또한 공정 제어 (process control) 소프트웨어를 제공하여 엔지니어가 최적의 성능 및 효율성을 위해 프로세스를 조정할 수 있습니다. 엑셀란 (Exelan) 의 모듈 식 디자인은 질소 관성 시스템, 재순환 시스템 및 추가 화학 전달 시스템과 같은 추가 기능을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 안전 (Safety) 및 환경 표준을 준수하며 다양한 테스트 체제에서 다양한 안전 검사를 통과했습니다. 이 장치는 TCO (총소유비용) 를 절감하고 TCO (총소유비용) 를 절감하는 것으로 입증되었습니다. 전체적으로 2300 Exelan은 고성능 에칭 및 애싱 작업을 수행 할 수있는 고급 기계입니다. 이 도구는 시간 및 비용 효율적인 운영을 가능하게 하기 때문에 반도체 소자 제조 (semiconductor device manufacturing) 와 같은 대용량 생산 응용 프로그램에 이상적입니다. 자산의 통합 프로세스 제어 및 자동화 (integrated process control and automation) 기능은 일관되고 반복 가능한 성능을 제공하는 반면, 광범위한 프로세스, 진단, 데이터 분석 기능은 프로세스 최적화 및 효율성을 보장합니다.
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