판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9054659
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ID: 9054659
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Oxide etcher, 8"
Cass nest plastic, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
(4) Process chambers:
Position 1: 2300 Exelan
Position 2: 2300 Exelan
Position 3: 2300 Exelan
Position 4: 2300 Exelan
Front end load port cassette:
(3) Open cassettes
Backing pumps for TM iPX
User interface option: Side & front monitor UI
Earth leakage breaker ELB
Signal tower
SECS/ GEM
Platform type: Version 2
2300 Exelan options:
Chamber type 2300 Exelan CFE
Upper electrode heated
ESC Cooling dual zone
1600 L/S EDWARDS Turbo pump, 8"
Endpoint detection optical emission spectroscopy
Chamber isolation valve rocker gate valve
2300 Gas box:
Gas system type: Enhanced gas box II
Std stacking kits: 4 PM Stacking kit
Gas line 12 gas configuration
Gas box inlet option: Regulated inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Gas box configuration:
PM1 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM2 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM3 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM4 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
2300 Peripherals:
DFC Backing pumps cust supply
DFC TCU Config LAM supply: (4) 4080 Plus
Gas scrubber: EBARA GTE-3-0WVT
Power distribution module: RPDB
Dry pumps:
TM EDWARDS iPX 100A
PM1 EBARA AA100W
PM2 EBARA AA100W
PM3 EBARA AA100W
PM4 EBARA AA100W
No SMIF interface
2004 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan은 광범위한 고급 프로세스 요구 사항을 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 모듈식 (modular) 멀티 툴 플랫폼으로, 다양한 프로세스 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 엑셀란 (Exelan) 은 다양한 구성 가능한 매개변수와 옵션을 제공하여 작은 설치 공간에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 시스템에는 고급 마그네트론 소스 (magnetron source), 실시간 피드백 머신 (feedback machine) 을 포함한 통합 지원 장치, 고급 웨이퍼 추적 및 전송 기능과 같은 고급 기술이 장착되어 있습니다. 광범위한 전력 수준, 주파수, 기체 (GAS) 를 갖춘 내장형 고급 마그네트론 (Magnetron) 소스는 모든 애플리케이션에 뛰어난 정확성과 반복성을 제공합니다. Exelan 의 구성 유연성 (Configuration Flexibility of the Exelan) 을 통해 고객은 특정 요구 사항을 가장 잘 충족할 수 있는 고유한 맞춤형 구성을 선택할 수 있습니다. 포함 된 실시간 피드백 (real-time feedback) 도구는 닫힌 루프 제어를 제공하여 공구에 걸쳐 쉽게 수정하고 적용할 수 있는 정밀 핀포인트 레시피를 제공합니다. 2300 Exelan은 정밀 정렬, 포지셔닝, 변위 센서와 정교한 소프트웨어 알고리즘을 결합한 고급 웨이퍼 추적 (wafer tracking) 및 전송 (transfer) 기능을 통해 탁월한 프로세스 제어 및 생산성을 제공합니다. 이 광범위한 구성요소는 통합된 하드웨어, 소프트웨어, 통신 기능과 더불어, 견고하고 신뢰할 수 있는 고급 (full-production-ready) 에칭 플랫폼의 기초가 됩니다. 또한 Exelan 은 표준 이더넷 연결을 통해 모니터링, 진단, 업그레이드를 지원합니다. 이 자산을 통해 고객은 소프트웨어 환경을 유연하게 구성하여 고유한 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (영문). LAM RESEARCH 2300 Exelan 은 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있는 고급, 전체 기능을 갖춘 플랫폼과 유연성을 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 확장성과 구성이 가능하며, 전용 제어 모델을 통해 정확하고 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. 사용이 편리한 이 플랫폼은 향후 요구 사항을 충족할 수 있도록 쉽게 업그레이드할 수 있으며, 기존 운영 라인에 통합될 수 있습니다. 고급 마그네트론 소스 (Magnetron Source), 통합 지원 장비 (Integrated Support Equipment), 웨이퍼 추적 및 전송 기능을 갖춘 Exelan은 모든 프로세스 요구 사항에 이상적인 제품입니다.
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