판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9121960

LAM 2300은 비아 (vias) 및 기타 작은 기능을 반도체 및 MEMS 기판에 빠르게 에칭하는 데 사용되는 이중 챔버 금속 에칭 장비입니다. 에칭 (etching) 및 클리닝 프로세스에 사용되는 컴포넌트가 포함된 다용도 버전이 있습니다. 이 시스템은 정밀 습식 에칭, 드라이 에칭, 플루오로 폴리머 에칭, 마그네트론 스퍼터링 등 다양한 에칭 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 프로세스는 단일 기판 생산 및 더 복잡한 구조를 가진 기판의 대규모 생산 (large scale production) 모두에 사용됩니다. 이 장치에는 각각 하향 원통형 에칭 챔버를 포함하는 2 개의 독립적으로 제어 된 서브 챔버가 포함됩니다. 최대 350mm 웨이퍼 (wafer) 까지 처리 할 수 있으며, 상승 및 회전 서셉터 (susceptor) 가 있으며, 다양한 복잡한 구조의 정확한 방향 및 에칭이 가능합니다. 각 서브 챔버에 대해, 별도의 음극/양극 쌍이 습식 에칭 또는 스퍼터링 프로세스에 사용된다. 이 기계 에는 "가스 '배달 도구 가 들어 있는데, 이 도구 는 사용 되는 공정 에 따라 매우 다양 한 특수" 가스' 를 만들 수 있다. 2300 에는 강력한 포스트 프로세싱 클랜 라인 (clean line) 이 포함되어 있어 에칭 프로세스 후 추가 처리가 가능합니다. 이 제품군은 HF 및 SC-1 솔루션 사용을 포함하여 공격적이고 부드러운 청소를 모두 수행 할 수 있습니다. 에셋은 또한 느리고 빠른 에치 (etch) 를 모두 실행할 수 있으므로 매우 작은 기능의 정확한 에칭이 가능합니다. LAM 2300에는 터치패드 제어 및 사전 프로그래밍된 레시피도 포함되어 있어 빠르고 효율적인 작동이 가능합니다. 전반적으로, 2300은 많은 산업 및 과학 응용 분야에 사용되는 매우 효율적이고 강력한 금속 에칭 모델입니다. 2 개의 서브 챔버 (Sub-Chamber) 와 포스트 프로세싱 클랜 라인 (Post-Processing Clean Line) 과 같은 독특한 기능을 통해 다양한 기판 및 구조물의 빠르고 정밀한 에칭 및 청소가 가능합니다. 따라서, 많은 현대 제작 응용 분야에 필수적인 강력한 도구입니다.