판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9061909

LAM 2300은 저항 코팅 시스템과 결합 된 수직 하중 잠금 챔버가있는 진공 장비입니다. "레지스트 코우팅 '공정 은" 기판' 에 재료 의 보호층 을 증착 시키는 데 사용 된다. 2300은 정교한 장치 구조를 만들 수있는 다재다능하고 모든 기능을 갖춘 장치입니다. LAM 2300은 확산 제한 저항 코팅 기술을 사용하여 기판에 왁스 (wax), 반사 방지 (anti reflection) 및/또는 양성 광사 (positive photoresist) 와 같은 방호층을 균일하게 배치합니다. 머신은 또한 레이어 두께와 에치 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 정밀 에칭 및 증착 기능과 결합된 진공 하중 잠금 (Vacuum Load Lock) 을 사용하면 프로세스 조건을 정확하게 제어할 수 있으므로 결과를 정확하게 제어할 수 있습니다. 2300 은 고급, 컴퓨터 제어 툴로서 수동 또는 자동 모드로 작동할 수 있습니다. 연산자는 몇 단계로 프로세스 매개변수 (예: 압력, 온도, 시간) 를 조정할 수 있습니다. 컴퓨터화된 컨트롤을 통해 운영자는 프로세스 매개변수를 손쉽게 모니터링하고 조정하여 프로세스 반복성 (process repeatability) 을 보장할 수 있습니다. LAM 2300에는 얇고 두꺼운 필름을 에칭하기위한 PZT (Piezo-electro-transferscope) 가 장착되어 있습니다. "PZT '는 전기" 펄스' 를 기판 으로 정확 히 전달 하여 "에셋 '이 얇고 두꺼운 저항" 필름' 을 정확 히 식각 할 수 있게 한다. 이 모델을 사용하여 웨이퍼, 디스크, 스트립 및 기타 유사한 기판을 가져올 수도 있습니다. 2300 은 금속, 산화물, 질화물, 중합체 등 여러 가지 물질 을 처리 할 수 있습니다. 또한 blanket 및 patterned etch, photolithography 및 plasma etching을 수행 할 수 있습니다. 이 장비는 스핀 온 글라스 (Spin-on glass) 및 EUV/UV 항다이퓨전 코팅을 포함한 다양한 코팅 화학 물질로 코팅, 선택 및 패턴 기판을 사용하는 데 사용될 수 있습니다. LAM 2300은 코팅 시스템이 매우 효율적이고 안정적입니다. 사용이 쉽고 유지 관리가 용이하며, 고품질 에칭 (etching) 을 생성하고 증착 결과를 방지 할 수 있습니다. 이 장치는 MEMS, 박막 트랜지스터, 마이크로 어셈블리 컴포넌트와 같은 복잡한 구조의 제작에 이상적입니다. 이 시스템은 높은 처리량과 고정밀 장치 제작에 이상적인 선택입니다.