판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9000118

LAM 2300 Exelan Flex는 대량 생산 및 초고화질 마이크로 머치닝 어플리케이션을 위해 설계된 전문 등급 에처/애셔입니다. 세계 최고의 에칭 장비 제조업체 중 하나 인 LAM 리서치 (LAM Research) 의 최신 제품입니다. 2300 Exelan Flex는 빠르고 정확하며 효율적인 에칭 성능을 제공합니다. 기존 에칭 시스템에 비해 총 주기 시간이 대폭 단축되어 처리량이 늘어납니다. 이 장비는 고급 초소형 (Ultra Compact) 디자인으로 제작되었으며, 다양한 기능을 제공하며, 사용자가 컴팩트 공간을 최대한 활용할 수 있습니다. 또한 사용 편의성을 높이기 위해 통합 로봇 암으로 설계되었습니다. "로봇 '암 은" 에칭' 의 최적 정확성 을 위해 기판 을 위치 에 두고 기울이는 데 도움 이 된다. 4 축 로봇 암은 최대 제어 및 반복 성을 위해 원격으로 또는 프로그램 적으로 작동 할 수 있습니다. LAM 2300 Exelan Flex는 또한 다양한 혁신적인 기능을 갖추고 있습니다. 고출력 레이저 (femtosecond and picosecond pulse durations) 를 사용하여 뛰어난 에칭 정확도, 심층 하드웨어 조각 및 다양한 맞춤형 미세 피치 에칭을 제공합니다. 기판 에칭 작업은 정교한 AEPS 3.2 소프트웨어 컨트롤러에서 관리합니다. 이를 통해 복잡한 계산, 여러 라운드의 자동 정렬, 온-디맨드 세밀한 사용자 에칭 매개변수를 수행하여 프로세스 제어 (process control) 및 데이터 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 압력 밀봉 에칭 챔버 (pressure-sealed etching chamber) 및 내장 환경 모니터링이 장착되어 다양한 작동 조건에서 일관된 성능을 보장합니다. 여기에는 내장 프로세스 온도 컨트롤러와 온도 밸브 (temperature valve) 가 포함되어 있어 안정적인 온도 피드백과 제어를 제공합니다. 온보드 산소 농축기는 또한 균일 한 에칭 성능 및 반복 성을 보장하는 데 기여합니다. 예방 및 유지 관리를 위해, 이 장치는 혁신적인 자기 유지 보수 기계로 구성됩니다. 따라서 시스템 운영 안정성, 운영/성능 매개변수를 간편하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 도구에는 경고 및 경고 기능, 수동 무시 기능도 내장되어 있습니다. 전체적으로 2300 Exelan Flex는 생산 및 정밀 마이크로 머키닝 응용 분야에 적합한 최첨단 에처/애셔입니다. 이 자산은 정교한 소프트웨어 컨트롤러, 고출력 레이저, 4축 로봇 암, 통합 압력 밀봉 에칭 챔버, 최소한의 유지 보수를 통해 일관되고 안정적인 성능을 제공하는 효과적인 자가 유지 관리 (self-maintenance) 모델 등 다양한 고급 기능을 결합합니다.