판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293767096

LAM 2300 Exelan은 실험실을위한 고급 에치/애셔 장비로, 다양한 샘플에 대한 정확한 에치 및 애싱 솔루션을 제공합니다. 이 "시스템 '은 여러 공정 주기 를 허용 하며, 여러 가지 기판 으로 작동 할 수 있다. LAM Exelan 2300은 동적 에치 챔버 (etch chamber) 를 제공하여 짝수 에치와 자동 애싱 프로세스를 제공합니다. 이 장치는 또한 완전히 밀폐 된 질소 제거 챔버를 특징으로하며, 이는 외부 대기 오염을 제거합니다. Exelan 2300에는 운영 제어 및 데이터 분석을 위해 온보드 컴퓨터 (On-board Computer Machine) 도 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 프로그램 설계와 스토리지를 위한 두 가지 유형의 메모리 (RAM 및 ROM) 가 있습니다. 간편한 작업을 위한 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있으며, 프로그래밍 및 모니터링과 관련하여 유연성을 제공합니다. LCD 터치 스크린 디스플레이를 사용하면 지정된 가스 흐름, 온도, 압력 등 프로세스 매개변수에 대한 자세한 제어가 가능합니다. LAM Exelan 2300은 또한 다양한 에치 및 애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 드라이 에치, 습식 에치 및 CMP 에칭 기능이 장착되어 있으며, 이는 1 ~ 10äm/min의 재료 속도를 제거 할 수 있습니다. 이 도구는 최대 10000rpm에서 습식 에치와 O2 에치를 수행 할 수도 있습니다. 또한 Exelan 2300은 제어 조건에서 작동하며, 온도는 실온에서 최대 200 ° C입니다. LAM Exelan 2300은 에칭 및 애싱 솔루션을위한 강력하고 안정적인 프로세스 자산입니다. 높은 온도, 빠른 주기 시간을 갖추고 정확한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 작업을 보장합니다. 온보드 컴퓨터 모델 (on-board computer model) 은 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하여 작업 및 프로그래밍이 간편하며 별도의 메모리 (프로그래밍 및 데이터 스토리지) 를 통해 장비의 편의성을 더욱 높일 수 있습니다. 2300 엑셀란 (Exelan) 은 정밀 작동을 보장하는 고급 시스템으로, 에칭 및 애싱 솔루션의 최상의 결과를 보장합니다.