판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293725149

LAM 2300 (LAM 2300) 은 실험실 환경을위한 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 최대 200mm 크기의 기질을 고도로 정밀하게 에칭 및 재싱 할 수 있습니다. 이 장치는 3 가지 에칭 기술 (유도 적, 저항 적, 극저온) 을 통해 광범위한 응용 프로그램을 수행 할 수 있습니다. 유도 에처/애셔 (inductive etcher/asher) 는 교대 자기장을 생성하는 유도 코일을 사용하여 컴포넌트의 와전류를 유도하여 국소화 된 가열을 생성합니다. 이 과정 을 통해 열 의 손실 을 최소화 하여, "에치 '를 손상 시키지 않고 섬세 한 부품 에서 할 수 있다. 저항성 에처/애셔 (esistive etcher/asher) 는 개별 전극을 통과하고 현지화 된 난방 구역을 생성함으로써 작동합니다. 이 장비는 에너지 변환이 필요하며 균질하지 않은 재료에 최적입니다. 극저온 과정은 에칭 기술 중 가장 정확합니다. 액체 질소 욕조와 하이브리드 열 교환기를 사용합니다. 이 "시스템 '은 두 가지 방법 으로 작용 하는데, 냉각제 는 잔류 열" 에너지' 를 흡수 하여 성분 의 온도 를 감소 시키고, 진공 을 만들기 위하여 증기 시키며, 이것 은 성분 을 더욱 식힌다. 이 프로세스를 통해 초미세 에칭 및 애싱 결과를 얻을 수 있습니다. 안전성 측면에서 볼 때, 2300 에는 과열 경고 장치, 냉각을위한 고압 컨테이너, 균일 한 에칭 온도를위한 압력 균등 화기 (pressure equalization machine) 가 장착되어 있어 사용자에게 안전합니다. LAM 2300 의 고급 에칭 기능, 정밀도 (precision) 및 안전 (safety) 기능을 통해 실험실 환경에서 모든 에칭 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 이상적인 선택이 가능합니다. 그것 은 "반도체 '의" 웨이퍼', 저항성 물질 및 금속 을 포함 하여 광범위 한 물질 에 적합 하며, 여러 가지 형태 와 크기 를 에치 (etch) 하거나 재 (ash) 하는 데 사용 할 수 있다. 통합 모니터링 및 제어 (monitoring and control) 툴을 통해 프로세스를 보다 쉽고 효율적으로 수행할 수 있으므로 높은 품질의 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 결과를 얻을 수 있습니다.