판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293675856

LAM 2300 Asher/Etcher는 반도체 및 관련 프로세스 작업에 사용하도록 설계된 건식 공정 asher/etcher입니다. 저온, 저압 또는 고압 산소 혈장이 필요한 프로세스에 이상적입니다. 2300의 고급 기능이 풍부한 디자인에는 통합 캐리어 및 히터, 트윈 로터, 폐쇄 루프 질량 흐름 장비, 통합 진공 증착 및 통합 고효율 배기가 포함됩니다. LAM 2300의 내부 히터 (internal heater) 및 밀폐 된 가스 전달 시스템 (closed gas delivery system) 은 기판 처리 온도와 프로파일 정권의 통일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 통합 트윈 로터 폐쇄 루프 (twin-rotor closed-loop) 질량 흐름 장치는 프로세스 가스가 처리 주기 내내 안전한 온도 및 압력 매개변수 내에 유지되도록 보장합니다. 통합 진공 증착 모듈 (integrated vacuum deposition module) 은 금속, 중합체 및 박막 산화물 층의 다양한 재료로 기판을 코팅하는 데 사용될 수있다. 2300의 혁신적인 디자인과 직관적인 컨트롤 머신 (Control Machine) 은 업계에서 가장 신뢰할 수있는 보존 에터/애셔 중 하나가 될 수있었습니다. 다양한 표준 공정 튜브 (표준 공정 튜브) 와 호환되며, 다양한 크기와 가열판 크기가 제공됩니다. 또한 LAM 2300 은 고효율 고강도 배기 (exhaust) 툴을 통해 제품 배기량을 효율적으로 제거할 수 있습니다. 배기 에셋을 사용하면 빠른 모델 설치 및 압력 유지 관리 (pressure maintenance) 를 허용하고 농축 된 연기의 농도를 최소화합니다. 2300 은 에칭 (etching) 의 품질과 기능의 균일성을 높이는 데 도움이 되는 가스 (gas) 의 집중 빔을 제공합니다. LAM 2300의 2 단계 가변 전원은 시간, 압력, 가스 비율, 유속, 프로세스 가스의 지정된 농도 등 프로세스 매개변수를 정확하게 제어합니다. 이러한 매개변수는 프로세스 중에 마음대로 다양할 수 있으므로 프로세스 품질 (process quality) 과 반복성 (repeatability) 이 뛰어납니다. 또한, 2300 의 포괄적인 통합 안전 (Integrated Safety) 기능은 인력이 위험한 프로세스 조건과 관련된 위험으로부터 보호합니다.