판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9375615

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX는 산업 규모의 마이크로 전자 부품 생산을 위해 설계된 에칭 및 애싱 장비입니다. 가장 작은 (200mm) 에서 더 큰 (450mm) 웨이퍼 형식까지 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 이 시스템은 고유한 자가 청소 쇼어 헤드 디자인을 사용하여 뛰어난 반응 균일성과 더 빠른 프로세스 시간을 제공합니다. 폴리이 미드 코팅 된 웨이퍼 플래튼과 결합 된이 디자인은 낮은 입자 생성을 보장합니다. 엑셀란 플렉스 FX (Exelan Flex FX) 에는 에칭 시간과 압력, 균일성 온도 제어 등 다양한 매개변수 설정이 있습니다. 에치 깊이 (etch depth) 와 균일성 (unifority) 에 대한 매우 엄격한 공차를 제공하여 최고 품질의 에칭 및 재싱을 허용합니다. 또한, 이 장치는 에치 결과를 최적화하기 위해 프로세스 조건을 정확하게 실시간 (real-time) 조정할 수 있습니다. Exelan Flex FX에는 소수의 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 챔버 벽에 쌓이는 것을 방지하여 오염을 방지하는 과산화수소 기반 클리닝 머신 (cleaning machine) 이 포함됩니다. 또한 향상된 프로세스 안전을위한 고급 안전 도구가 있습니다. 이 "에너지 '는 위험 한 공정" 가스' 를 나머지 자산 과 분리 시키기 위한 격리실 을 포함 하여 시설 내 의 인력 의 안전 을 보장 한다. 또한 Exelan Flex FX에는 오염 관련 다운타임을 최소화하는 프로세스 복구 기능이 있습니다. 마지막으로 Exelan Flex FX는 유연하고 프로세스별 튜닝을 위해 설계되었습니다. 이 모델을 사용하면 에칭 시퀀스 (etching sequence) 를 조정하여 특정 프로세스의 결과를 최적화할 수 있습니다. 따라서 다운타임을 줄이고 수율을 늘릴 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 FX (Exelan Flex FX) 는 대용량 생산을위한 신뢰할 수 있고 다양한 도구이며, 보다 엄격한 균일성 공차로 탁월한 에칭 및 애싱 결과를 제공합니다.