판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293826277

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX는 최첨단 플라즈마 에처이며 마이크로 일렉트로닉스 제조에 이상적입니다. 고급 재료 (advanced materials) 와 장치 (device) 애플리케이션을 위한 에칭 및 애싱 프로세스에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 엑셀란 플렉스 FX (Exelan Flex FX) 는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 요구사항을 충족할 수 있는 뛰어난 유연성과 더 작은 크기의 향후 요구를 충족할 수 있는 확장성을 제공합니다. 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 챔버 (ashing chamber) 와 소스를 사용하여 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 이 장비는 에칭 (etched) 된 피쳐 간의 처리량, 균일성 (unifority) 및 균일 한 피쳐 크기를 유지하면서 종횡비 제어를 통해 높은 종횡비 기능을 생성 할 수 있습니다. 플라즈마 매개변수를 조정하는 기능과 에치 레이트 (etch rate), 바이어스 전류 (bias current), 라인 너비 (line width), 에치 피쳐 선택성 (etch feature selectivity) 과 같은 에칭 매개변수를 정확하게 제어하는 기능 등 고급 프로세스 제어 기능이 있습니다. 또한 향상된 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 데이터 로깅 (data logging) 기능을 통해 에칭 프로세스를 쉽게 최적화하고 분석할 수 있습니다. 엑셀란 플렉스 FX (Exelan Flex FX) 는 탁월한 에칭 및 애싱 성능 외에도 오늘날의 마이크로 일렉트로닉스 (Microelectronics) 제작 프로세스의 고급 요구를 지원하는 다양한 기능과 옵션을 제공합니다. 이 시스템은 사고 및 프로세스 중단을 방지하기 위해 고급 안전 모니터링 (Advanced Safety Monitor) 기능을 제공합니다. 그것 은 또한 여러 가지 "플라즈마 '화학 물질 과 호환 되며, 광범위 한" 피드스톡' 을 사용 할 수 있다. 또한 원격 진단 및 모니터링을 통해 처리량 및 생산성을 향상시킵니다. 이 장치에는 고급 원격 진단 장치 (Advanced Remote Diagnostic Machine) 가 장착되어 있어 플라즈마 프로세스 문제와 결함 감지를 빠르고 정확하게 진단할 수 있습니다. 또한 Exelan Flex FX 에는 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 측정하고 에칭 프로세스를 실시간으로 원격 모니터링할 수 있는 원격 모니터링 툴이 포함되어 있습니다. Exelan Flex FX는 기존의 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스의 요구를 모두 충족하도록 완벽하게 구성할 수 있습니다. 종래의 수평 에치 챔버 (horizontal etch chamber) 를 넘어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 확장하여 수직 구조의 성능 및 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 에셋의 모듈식 설계는 또한 포스트-에칭 (post-etching) 및 샘플 처리 (sample handling) 를 통합하고 프로세스 처리 속도를 높이고 전반적인 효율성을 향상시키는 옵션도 제공합니다. 2300 Exelan Flex FX는 마이크로 일렉트로닉스 제작을 위한 강력한 도구로서, 유연성, 확장성, 고급 프로세스 제어 기능의 독특한 조합을 제공합니다. 이 모델은 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 성능과 기능이 필요한 고객에게 이상적입니다.