판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293810852

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX는 다양한 고급 에칭 프로세스의 요구를 충족하도록 설계된 듀얼 챔버 에치/애셔입니다. 단일 프로세스 실행 중에 화학 물질과 플라즈마 에치/애셔 (plasma etch/asher) 를 모두 제공할 수 있으며, 생산 요구 사항에 대한 처리량 및 유연성이 향상되었습니다. 2300 Exelan Flex FX에는 직관적인 사용자 입력 및 모니터링이 가능한 직관적인 HMI (Human Machine Interface) 가 장착되어 있습니다. HMI는 실시간 매개변수 (real-time parameter) 를 표시하여 운영자에게 프로세스 매개변수를 정확하고 쉽게 모니터링하고 조정할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX 모델은 많은 소프트웨어 시스템과 호환되므로 프로세스 엔지니어의 기존 워크플로우와 쉽게 통합할 수 있습니다. 2300 Exelan Flex FX는 진공 및 대기 응용 프로그램 모두에서 사용하도록 설계되었습니다. 가변 속도 컨베이어 (variable speed conveyor) 와 이동식 가스 박스 및 조절 가능한 공정 압력 챔버 (adjustable process pressure chamber) 가 장착되어 있습니다. 이중 챔버 (Dual Chamber) 설계를 통해 여러 에치 화학 물질을 동시에 사용할 수 있으며, 챔버 (Chamber) 간의 프로세스 시간을 변화시킬 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 Exclan Flex FX는 프로그래밍 가능한 처리 매개변수와 반복 기능을 통해 정확하고 정확하게 유연성을 구현할 수 있습니다. 이를 통해 매번 정확한 에치 레시피를 정확하게 재생할 수 있습니다. 또한, 이중 챔버 (Dual Chamber) 는 프로세스 레시피에 관계없이 정확하고 일관된 에치 성능을 통해 고수율 제품에 대한 최대 프로세스 창을 제공합니다. Exelan Flex FX에는 진공 연동, 근접 센서, ESD 차폐 (ESD shielding) 및 안전 케이스 (Safety Enclosure) 와 같은 다양한 안전 기능이 제공되어 운영자의 안전한 생산 환경을 보장합니다. 이 장비는 또한 고급 소프트웨어 제어 기능을 사용하여 원격 프로세스 모니터링을 지원합니다. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX는 높은 처리량과 우수한 수율을 제공하는 다재다능한 에치/애쉬 시스템입니다. 이 장치는 정확한 재생성과 높은 신뢰성을 갖춘 우수한 에치 레시피 (etch 레시피) 를 생산하여 수율 증가를 허용합니다. 고급 제어 (Advanced Control) 기능과 안전 (Safety) 기능뿐만 아니라 놀라운 프로세스 반복 기능이이 기계가 다양한 첨단 어플리케이션에 적합합니다.