판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293609173

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX는 포토 마스킹 작업에 사용하도록 특별히 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 혁신적인 프로세스 제어 및 관리 솔루션을 통합하여 고품질 에칭 패턴을 생성합니다. 이 시스템은 에칭 (etching) 및 스트리핑 속도, 높은 선택성, 뛰어난 프로세스 안정성, 높은 생산성을 제공합니다. 이는 반도체, MEMS, 전시 기술 부문에서 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 장치는 레이저 빔, 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 플라즈마 기반 에칭 프로세스를 사용합니다. 2300 Exelan Flex FX는 개방형 아키텍처로 설계되었으며, 사용자가 에칭 매개변수와 프로세스 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 기계는 높은 재생성, 우수한 선택성 및 우수한 에치 속도를 제공합니다. 인사이트 (in-situ) 제어 및 관리 솔루션을 사용하면 여러 프로세스를 동시에 프로그래밍 및 제어할 수 있으므로 프로그래밍 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 또한, 프로세스 파악 및 수정 작업을 개선하기 위한 실시간 프로세스 정보를 제공합니다. 이 도구에는 정확한 에치 패턴화 및 프로세스 제어를 위한 초고해상도, 3D 이미지 센서가 장착되어 있습니다. 또한 빔 전원 및 방향을 정확하게 제어하기 위해 구성 가능한 레이저 빔 (laser-beam) 전달 자산을 제공합니다. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX는 모든 에칭 및 스트리핑 작업에 대한 최적의 결과를 보장하기 위해 자동 프로세스 제어를 제공합니다. 이 에처 (etcher) 는 특허받은 고도로 신뢰할 수있는 게이트 모델과 정확한 난방 및 냉각 시스템으로 설계되어 에칭 프로세스 동안 원하는 온도를 유지합니다. 또한 2300 Exelan Flex FX는 에칭 응용 프로그램 및 다양한 진단 도구를 최적화하여 프로세스 성능을 모니터링하는 정확한 압력 및 흐름 제어 메커니즘을 제공합니다. 제어 모듈을 사용하면 장비 매개변수를 구성하여 최적의 에칭 프로파일 (etching profile) 과 결과를 확인할 수 있습니다. 높은 선택성과 최적의 에치 속도를 통해 빠른 장치를 완료할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 인터록 (interlock), 현장 프로세스 제어 (in-situ process control) 및 압력 모니터링 (pressure monitoring) 과 같은 안전 기능으로 설계되어 항상 운영자의 안전을 보장합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX는 정확한 제어, 견고하고 안정적인 프로세스 제어, 높은 충실도 에치 패턴, 정밀 프로세스 관리 기능을 제공하는 고급 에칭 장치입니다. 이를 통해 photomasking 운영 및 업계 최고의 기술 부문에 이상적인 선택이 됩니다.