판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293643636
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LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + 는 매우 효율적인 etcher/asher로, 광범위한 응용 프로그램을 위해 습하고 건조한 프로세스를 모두 지원하도록 설계되었습니다. 이 제품은 생산성과 처리량을 극대화하는 견고한 장비 아키텍처 (Strust Equipment Architecture) 와 뛰어난 프로세스 균일성, 특히 건조 프로세스에서 향상된 냉각 기능을 갖추고 있습니다. 2300 Exelan Flex EX + 는 독점적 인 저압 염소 기반 가스 분사 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 기존의 에칭 시스템에 비해 훨씬 낮은 수준의 가스 농도를 활용할 수 있습니다. 이것은 우수한 온도 균일성과 함께 다양한 재료에 대한 에치 레이트 (etch rate) 를 정확하게 제어하여 고급 프로세스 통합 (advanced process integration) 및 정밀 에칭 (precision etching) 응용 프로그램에 이상적입니다. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + 는 균일성, 반복성 및 최적화된 프로세스 제어를 위해 설계된 고급 유닛 아키텍처도 갖추고 있습니다. 2300 Exelan Flex EX + 는 또한 다양한 기판 크기와 형상을 수용할 수있는 고급적이고 유연한 설계 옵션을 제공합니다. 3 구역 펌프 머신은 모든 처리 모듈에 걸쳐 모든 기판 크기 요구 사항을 최적화하도록 구성되며, 완벽한 균일성, 균질성, 엔지니어링 제어를 제공합니다. 고유한 multi-axis configurable end-effector (다중 축 구성 가능 최종 이펙터) 는 대상 모듈의 기판을 안정적이고 매끄럽게 배치하여 정확하고 반복 가능한 프로세스 실행을 가능하게 합니다. 안전 측면에서 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + 에는 적절한 기판 전송과 정확한 프로세스 제어를 보장하는 고급 프로세스 모니터가 제공됩니다. 또한 성능/프로세스 일관성을 최적화하는 다양한 미세 튜닝/진단 툴과 예상치 못한 문제 해결을 지원하는 실시간 프로세스 흐름 모니터링 (process flow monitoring) 을 제공합니다. 요약하면, 2300 Exelan Flex EX + 는 뛰어난 에칭 기능, 견고한 도구 아키텍처, 향상된 냉각 및 다양한 기판에 대한 유연한 디자인 옵션을 제공하는 최첨단 에처/애셔입니다. 에칭 (etching) 프로세스의 정확성과 반복성을 위해 설계되었으며, 프로세스 제어 및 안전성을 높이기 위해 고급 기능을 제공합니다.
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