판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293641915
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ID: 293641915
웨이퍼 크기: 12"
Etcher, 12"
Aligner
BROOKS Express load port
571-810321-10598 EFEM
BROOKS 138150 Robot
571-810320-10598 VTM
108000-37 VTM Robot magratran 7
101543506270005 AC Rack
108358 Robot controller
571-035344-10598 GIB
(3) Process Modules (PM)
853-243881-001 Generator cart
RPDB
Gas box:
Part number / Line / Description
571-033051-001 / 16 / IGS Gas box
571-033051-002 / 16 / IGS Gas box
571-033051-003 / 16 / IGS Gas box
Missing parts:
(2) Signal tower lamps
(3) 853-040482-600 Matchers
(3) 660-080455-300 Generators, 2MHz
(3) 660-072825-200 Generators, 27 MHz
(3) 660-072826-200 Generators, 60 MHz
(3) 628D-26910 CM1 BARATRON Manometers, 100 mT
(3) EI-R04M Turbo pump TMP-2804LMC Controllers.
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + Etcher/Asher는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에서 우수한 결과를 얻기 위해 설계된 컴팩트하지만 강력한 기계입니다. 이것은 카운터 도핑 연구 및 고효율의 이온 빔 스퍼터 에칭 (ion beam sputter etching) 과 같은 다양한 생산 및 연구 응용 분야에 이상적입니다. 에처 (etcher) 에는 다양한 기능이 장착되어 있어 최고의 성능과 안정성을 제공합니다. 이 장비는 경제적인 작동을 보장하는 고정 속도 배기 (Fixed Speed Exhaust Blower) 로 구성되며, 구성요소를 손상시킬 위험없이 장기간 생산할 수 있습니다. 에치 레이트 (etch rate) 와 균일성 (unifority) 을 완벽하게 제어할 수 있도록 여러 가지 고급 기능으로 설계되었습니다. Exelan Flex EX + 는 염소, 브로민, 플루오린, 황, 알루미늄 및 티타늄 에찬트를 포함한 광범위한 에치 화학 물질을 할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 크기, 모양 및 두께로 금속, 세라믹 또는 폴리머 기판을 안전하게 처리 할 수 있습니다. 특허를받은 reacto-electric reduction machine은 최대 6 개의 웨이퍼 처리 위치로 에치 처리를 허용합니다. 이 도구는 사용하기 쉽고 연구, 싱글 로트 제조, 배치 생산에 적합합니다. 표면 품질 (surface quality) 과 입자 제어 (particle control) 가 뛰어나고 챔버 전체 길이에 걸쳐 높은 균일성을 제공합니다. 광범위한 안전 기능 (Safety Features) 은 자산의 긴 수명을 보장할 뿐만 아니라 시장에서 가장 안전한 에처/애셔 (etchers/ashers) 시스템 중 하나입니다. 최고의 안정성을 위해 설계된 Exelan Flex EX + 는 안정적으로 안정된 성능을 제공하므로 여러 가지 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 효율적인 공간 절약 (space-saving) 설계를 통해 다양한 실습 및 운영 설정에 맞출 수 있습니다. 2300 Exelan Flex EX + Etcher/Asher는 뛰어난 결과를 제공 할 수있는 신뢰할 수있는 모델입니다.
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