판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293619655
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ID: 293619655
웨이퍼 크기: 12"
Dielectric etcher, 12"
EFEM
AC Rack
VTM
(3) Gas boxes
GIB
(3) PM
(2) LP
Pallet: Cable and chiller hose
RPDB Rack
Process kit
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(2) / - / Signal tower lamp assembly
(1) / 685-068190-004 / Gaille board
(1) / 685-068191-004 / Gap drive
(1) / 685-319860-001 / Iron server
(1) / 605-109114-001 / CPU Board
(1) / 857-019053-004 / ATM Robot
(1) / 799-000492-003 / VTM Robot body
(1) / - / VTM Robot arm
(1) / 810-066590-004 / Stepper board
(3) / 853-040482-600 / 3-Frequency matcher
(3) / 660-080455-300 / 2 Mhz Gen
(3) / 660-072825-200 / 27 Mhz Gen
(3) / 660-072826-200 / 60 Mhz Gen
(1) / 810-800256-207 / Node Board
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / 2/8 Add / OES Unit
(1) / 2/8 Add / APC Actuator board
(1) / 2/8 Add / V10P Board
(1) / 2/8 Add / LTC Board
(1) / 2/8 Add / VME Box (I/B+M/B).
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + 는 반도체 제조업체에 안정적이고 정확한 에칭 및 애싱 솔루션을 제공하는 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 핫 CVD, 플라즈마 에칭, 진공 (vacuum) 기술 등 다양한 기술을 사용하는 고급, 완전 자동화 단일 웨이퍼 장치입니다. 이 장치는 큰 챔버와 직경 300mm (최대 300mm) 의 확장 웨이퍼를위한 충분한 공간을 갖추고 있습니다. 방은 비활성 가스로 채워져 있으며, 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 위해 매우 깨끗한 환경을 제공합니다. 이 기계는 정밀 동작 도구를 특징으로하며, 이는 매우 정확한 에칭 및 재싱을 제공합니다. 이 자산은 사전 프로그래밍 가능한 에칭 및 애싱 레시피 (ashing 레시피) 도 제공합니다. 이 레시피는 정밀 프로세스 제어를 가능하게 하며 정확한 결과를 위해 에칭 및 애싱 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 모델은 또한 높은 고유의 에치 품질 (etch quality) 과 균일 성을 가지고 있으며, 이는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 프로세스를 가능하게합니다. 2300 Exelan Flex EX + 에는 프로세스 신뢰성을 보장하는 고급 안전 기능도 장착되어 있습니다. 이러한 안전 기능에는 설정 제한 (set limit) 을 초과하는 경우 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스의 자동 종료, 과열 손상을 방지하기 위한 온도 모니터링 및 결과 데이터 로깅이 포함되어 있어 프로세스 관련 문제를 신속하게 파악할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX + 는 반도체 제조에 이상적인 에칭 및 애싱 솔루션입니다. 이 장비는 신뢰할 수 있으며, 정밀 모션 시스템 및 사전 프로그래밍 가능한 레시피로 인해 뛰어난 일관된 결과를 제공합니다. 안전성 (Safety Features) 은 프로세스 안정성을 보장하며 잠재적인 문제가 발생하기 전에 방지합니다. 이 장치는 모든 반도체 에칭 및 애싱 (ashing) 요구에 적합한 신뢰할 수 있는 고성능 솔루션입니다.
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