판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292910

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45는 Turbo-Molecular Pump 어셈블리를 직접 구동하는 On-Axis 처리 챔버를 특징으로하는 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다운타임 및 프로세스 변동성이 낮아 에칭 프로세스를 빠르고 정확하게 제어합니다. On-Axis 처리 챔버 (On-Axis processing chamber) 설계는 웨이퍼의 모든 영역에서 동시에 균일하고 반복 가능한 플라즈마-에칭을 제공하여 높은 처리량과 정확한 플라즈마 균일성을 제공합니다. 이 챔버는 또한 터보-분자 펌프 (Turbo-Molecular Pump) 어셈블리를 직접 구동할 수 있으며, 이는 펌핑 효율성을 향상시키고 유지 관리 요구 사항을 크게 낮출 수 있습니다. 이 에처/애셔는 폴리 실리콘 에칭 (polysilicon etching) 을 허용하며, 온-축 (On-Axis) 처리 챔버는 에칭 프로세스의 미세 튜닝을 용이하게하기 위해 조정 가능한 기능을 가지고 있습니다. Exelan Flex 45의 강력한 생성기는 에치 파워 (etch power), 주파수 (frequency) 및 공정 압력 (process pressure) 과 같은 주요 에칭 매개변수를 정확하게 제어합니다. 발전기는 또한 "닫힌" 토로이드 자석을 가진 고순도 원격 플라즈마 소스 (RPS) 를 함유하고 있으며, 이는 화합물과 재료를 선택적으로 에칭하는 데 사용될 수있다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 최대 공칭 압력 및 챔버 온도를 보장하는 데이터 로깅 및 모니터링 시스템이있는 광범위한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한 Exelan Flex 45의 Closed-Loop 시스템 규정 준수 기술은 에칭 매개변수가 최적의 수준으로 유지되도록 함으로써 웨이퍼 균일성, 생산성, 신뢰성을 향상시킵니다. 또한 Exelan Flex 45에는 다양한 에칭 프로세스에 대한 다양한 응용 프로그램이 있습니다. 화학 심해 에치, 접촉 에치, 이온 밀링, 반응성 이온 에치, 애싱, 방전 챔버 에치 등 다양한 에치에 사용할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 최대 450례의 고온 기능과 오존, 산소, 질소와 같은 유해한 부산물을 제거 할 수있는 전용 국소 배기 시스템으로 설계되었습니다. Exelan Flex 45는 아르곤, 헬륨, 수소, 질소 등 다양한 가스와 호환되며, 응용을위한 소량의 가스를 처리 할 수 있습니다. Exelan Flex 45는 효율적이고 다재다능한 etcher/asher로 반복 가능한 플라즈마 에칭 및 애싱 결과를 제공합니다. On-Axis 프로세싱 챔버 설계 및 Closed-Loop 시스템 규정 준수 기술은 다운타임 및 프로세스 변동성을 최소화하면서 처리량 및 웨이퍼 균일성을 극대화합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 에칭 프로세스를위한 이상적인 도구이며, 다양한 응용 프로그램 및 안전 기능으로 인해 모든 실험실에 귀중한 기능이 추가됩니다.