판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292907

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45
ID: 9292907
웨이퍼 크기: 12"
Dielectric etcher, 12".
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45는 현대 장치 제작 및 반도체 생산의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 독특한 etcher/asher입니다. 공정 제어 (process control), 다양한 에칭 매개변수 및 높은 에칭 속도를 갖춘 완전 자동화 장비입니다. 이 시스템은 단면 (single-side) 및 다면 (multiple-side) 에치 프로세스에 모두 적합하며 고품질의 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. LAM 2300 Exelan Flex 45는 고급 SMS (Substrate Motion Unit) 를 사용하여 전체 etch 프로세스 전체에서 기판을 정확하게 이동합니다. 기판은 프로세스 매개변수가 정확하게 제어되고 모니터링되는 밀봉된 챔버 (sealed chamber) 에 배치됩니다. 통합 프로세스 제어는 높은 수준의 반복성과 일관성을 보장합니다. 이 기계는 다양한 애플리케이션별 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 가지고 있습니다. 이러한 매개 변수에는 온도, 압력, 유속, 가스 유형 등이 포함됩니다. 대부분의 에칭 프로세스 매개 변수를 조정할 수 있으므로, 유연성이 매우 뛰어납니다. 이는 생산 수율을 최적화하고 특정 응용 프로그램의 에칭 (etching) 프로세스를 미세하게 조정하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 정교한 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기술을 사용하여 제품의 생산성과 반복성을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 지능형 프로세스 제어 기능은 프로세스 결과를 효율적으로 실시간으로 모니터링하고 분석합니다. LAM LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45는 현대적인 청정실을 염두에두고 개발되었습니다. 사용자 편의성과 안전성을 힘과 정밀도로 결합한 제품입니다. 이 툴에는 프로세스 매개변수를 원격으로 모니터링, 제어할 수 있는 사용자 친화적, 그래픽 연산자 인터페이스 (Graphical Operator Interface) 가 장착되어 있습니다. 에셋에는 원격 진단 기능 (remote diagnostics feature) 이 내장되어 있어 모든 기술 문제에 대한 원격 트러블슈팅을 수행할 수 있습니다. LAM 2300 Exelan Flex 45의 안정적이고 일관된 에치 품질은 장치 생산 및 반도체 제조에 이상적입니다. LAM LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45는 다양한 맞춤형 매개 변수, 높은 에치 속도, 통합 프로세스 제어 및 강력한 진단 모델을 통해 비용 효율적인 에칭 어플리케이션을 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다.
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