판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9252457

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45는 오늘날 고도로 통합된 차세대 디바이스 제작 프로세스에서 탁월한 성능과 안정성을 제공하는 etcher/asher입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 모델은 최대 정확도와 정밀도로 직경 45 인치까지 큰 기판을 처리 할 수 있습니다. 2300 Exelan Flex는 습식 에칭, 드라이 에칭, 레지스트 스트립, 애싱, 임베디먼트 에칭 등 다양한 프로세스에 대해 구성 될 수있는 고급 소스 챔버로 제작되었습니다. 이 챔버에는 통일되고 일관된 에칭 처리량 (etching throughput) 을 보장하는 이중 영역 열 제어 (dual-zone thermal control) 와 효율적인 처리를 위한 완전 자동 로드 및 언로드 장비를 갖추고 있습니다. 이 챔버에는 효율적인 에칭을위한 가우스 광자 빔 소스 (Gaussian photon beam source) 가 포함되어 있으며, 프로세스 시간이 단축되고 에치 속도가 최대화됩니다. 2300 Exelan Flex는 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 다양한 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 RF 및 DC 전원 제어, 압력 제어, 기판 바이어싱 및 균일 한 온도 조절이 포함됩니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 에는 프로세스 모니터링 장치 (Process Monitoring Unit) 도 있어 에칭 또는 애싱 프로세스가 정확하고 일관성 있게 수행됩니다. 2300 Exelan Flex에는 플래튼에 웨이퍼를 배치하기위한 자동 정렬 머신도 포함되어 있습니다. 이 도구는 수작업을 수행하지 않고도 정렬 정확도 (5äm 미만) 를 달성할 수 있습니다. 또한, 압력 제어 자산은 에칭 또는 애싱 (ashing) 과정에서 웨이퍼에 균일 한 압력 전달을 보장합니다. 2300 엑셀란 플렉스 (Exelan Flex) 에는 에칭 프로세스의 안전성과 정확성을 보장하기 위해 이중 격리 연동 모델 (dual isolation interlock model) 과 같은 여러 가지 고급 안전 측정이 포함되어 있습니다. 또한 경보 모니터링 장비 (Alarm Monitoring Equipment) 는 프로세스 변경이 발생할 때 가청 경보 신호를 보내므로 운영자가 신속하게 시스템을 평가, 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 원격 서비스 기능을 통해 etcher/asher를 쉽고 편리하게 관리할 수 있습니다. 전체적으로 2300 Exelan Flex 45는 강력한 etcher/asher로, 차세대 디바이스 구성 프로세스에 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다. 고급 기능 및 안전 측정 (Safety Measure) 은 정확하고 안정적인 에칭 및 애싱 (eching and ashing) 을 통해 안전하고 효율적이며 비용 효율적인 방법을 제공합니다.