판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9242075

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45는 습식, 건식 및 특수 에칭 프로세스를 지원하는 에처/애셔입니다. 이 도구는 다양한 응용 프로그램에 대해 정확한 에칭 (etching) 기능을 제공할 수 있습니다. 단일 웨이퍼 기능을 통해 웨이퍼 마킹과 고밀도 초점 (focal spot) 정렬, 기울기 제어 (tilt control) 기능을 제공합니다. 이 도구는 에칭 피쳐에 대한 정확한 요구 사항을 충족하기 위해 매우 높은 수준의 균일성 (unifority), 반복성 (repeatability) 및 정확성을 달성하도록 설계되었습니다. 2300 Exelan Flex 45는 내구성 스테인리스 스틸 벽 (stainless steel wall) 과 정밀한 에칭 작동을 위해 탁월한 안정성과 낮은 진동 수준을 제공하는 중량 구성 요소로 제작되었습니다. 에처/애쉬 (etcher/ash) 는 다양한 에치 요구 사항에 걸쳐 에치 프로파일의 최적의 균일성, 반복성 및 균일성을 제공하는 정확한 주파수 튜닝을 갖춘 통합 RF 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 RF 시스템을 사용하면 두 가지 에치 모드 (etch mode) 를 전환할 수 있으며, 빠른 에칭과 딥 에칭을 지원할 수 있습니다. 또한 이 툴에는 여러 가지 고급 (advanced) 기능이 장착되어 있어 최적의 성능을 보장합니다. 예를 들어, LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45는 일관된 에칭 결과를 보장하기 위해 자동화된 소프트웨어 제어로 설계되었습니다. 또한, 이 도구에는 웨이퍼 전체의 온도 변화를 감지하고 조정하여 균일 한 에칭 결과를 얻을 수있는 열 이미징 카메라 (thermal imaging camera) 가 있습니다. 이 도구에는 샘플의 과도한 노출 방지, 장비 손상 방지, 자동 보호 시스템 (automated protection system) 도 포함되어 있습니다. 2300 Exelan Flex 45 etcher/ash는 현재 사용 가능한 최고 수준의 일관성, 정확성, 반복 가능성 및 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 금속 (metal) 이나 반도체 (semiconductor) 재료를 에치해야 하는 많은 사용자에게 적합한 솔루션을 제공합니다. 강력한 구성과 인상적인 기능으로 인해 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45는 가장 까다로운 작업조차도 수행 할 수있는 다용도 도구입니다.