판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9015441

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45는 주로 반도체 산업에서 사용되는 고급 에처 및 애셔입니다. 전체 프로세스 전반에 걸쳐 공구 제어 (Tool Control) 와 정밀한 균일성 (Unifority) 을 통해 작은 기능의 정확한 에칭과 재싱을 모두 제공하도록 설계되었습니다. Exelan Flex 45는 높은 종횡비 기능, 웨이퍼 라이닝 (wafer thinning) 및 45도 각도 에치 응용 프로그램과 같은 다양한 기판 및 프로세스를 다룰 수있는 유연성을 가지고 있습니다. 엑셀란 플렉스 45 (Exelan Flex 45) 는 플랫폼 및 프로세스 하드웨어를 다양한 진공 펌프, 로드 잠금 (load-lock) 및 소스 모듈과 통합하여 원하는 결과에 맞게 프로세스를 조정하는 도구 폐쇄 아키텍처를 갖추고 있습니다. 이러한 통합 하드웨어 수준은 프로세스 정밀도를 높이고, 운영 비용을 절감하며, 빠른 웨이퍼 처리량을 보장합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 임베디드 프로세스 컨트롤러에 의해 제어되며, 이로써 운영자는 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 각 에치 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 임베디드 프로세스 제어 (Embedded Process Control) 는 사전 프로그래밍된 레시피 설정 및 프로세스 제어를 허용하며, 에치 레시피를 실행할 때마다 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 엑셀란 플렉스 45 (Exelan Flex 45) 는 또한 균일성을 높이고 프로세스 중 웨이퍼 클리닝을 개선하고 교차 오염을 최소화하는 고급 에치 챔버 디자인을 갖추고 있습니다. 전체 플랫폼 진공 구조는 미립자 침입을 최소화하고 귀중한 할로 젠딩 에친트 (halogendated etchant) 의 손실을 줄이는 데 도움이됩니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 긴급 차단 스위치, 가청 경보, 고온 또는 화학 증기에 우연히 노출되는 것을 방지하는 폐쇄 아키텍처 시스템 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 운영자와 방관자는 운영 중에 안전하게 보호됩니다. 2300 Exelan Flex 45는 최고 수준의 정확성과 반복성을 찾는 사람들에게 이상적인 에처/애셔입니다. 통합된 에치 챔버 (etch chamber) 설계와 자동화된 공구 제어를 통해 사용자는 각 에치가 정확한 결과를 얻을 수 있다고 믿을 수 있습니다. 또한, 다양한 안전 (safety) 기능을 통해 사용자는 운영자와 방관자가 안전하고 안전하다고 확신 할 수 있습니다.