판매용 중고 LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 #9143213

LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104는 주로 반도체 제조를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장치는 다양한 플라즈마 (Plasma) 기반 프로세스에서 지속적으로 작동할 수 있는 모든 기능을 갖춘 고속 (High-Speed) 생산 도구입니다. 알루미늄, 구리, 이산화규소 및 유기 재료의 에칭을 포함한 광범위한 응용을 위해 DRIE (Deep Reactive Ion Etch) 모드 및 STF (Shallow Trench Formation) 모드로 작동하도록 설계되었습니다. 12123-1-D-00162104 etcher/asher는 크기가 20 "x 15" 인 공정 챔버를 가지고 있으므로 여러 가지 다른 에칭 및 애싱 프로세스를 동시에 수행 할 수 있습니다. 챔버에는 다이렉트 드라이브 모터 (direct drive motor) 가 장착되어 있으며, 정확한 가스 흐름을 제공하여 우수한 결과와 반복 가능한 결과를 제공합니다. 최적 프로세스 매개변수 (optimal process parameter) 를 구성하기 위한 고급 프로세스 컨트롤러가 있으며, 기존 운영 작업과 호환되도록 설계되었습니다. 이 장치는 효율적인 처리를 위해 이중 패스 설계를 사용하여 단일 패스에서 고속 에칭 및 다운 스트림 애싱을 모두 수행할 수 있습니다. LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 Etcher/Asher는 에칭에서 뛰어난 균일성을 제공하여 높은 생산성과 품질을 제공합니다. 제조. 그것 은 "웨이퍼 '와" 에치 마스크' 를 가로지르는 "에치 '율 을 조절 하여 임계 층 을 정확 하게 에칭 하는 기능 을 가지고 있다. 또한 "가스 '를 균일 하게 분배 하여" 패턴' 화 된 특징 에 있는 균일 한 "필름 '을 보장 하는 데 도움 이 되는 고급" 가스' 분배 장치 를 갖추고 있다. 즉, 레이어가 균등하게 증착되어 생산의 안정된 작동과 안정성을 보장합니다. 이 장치에는 경보 시스템 (alarm system) 이 장착되어 있으며 온도 및 압력 모니터 경보를 제공합니다. 또한 고급 진단 (Diagnostic) 기능을 통해 프로세스 챔버의 잠재적 문제를 감지할 수 있습니다. LAM RESEARCH 12123 etcher/asher 는 기존 운영 라인에 완벽하게 통합될 수 있으며, 고급 기능을 활용하여 효율적이고 경제적인 처리 기능을 제공합니다.