판매용 중고 KEM / KOKUSAI Lambda 200C #293643016

KEM / KOKUSAI Lambda 200C
ID: 293643016
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Asher, 8" 2001 vintage.
KEM/KOKUSAI Lambda 200C는 마이크로 서킷 제조 및 반도체 연구 및 개발에 사용되는 플라즈마 에처/애셔 유형입니다. 이 고급 에처/애셔에는 고 진공 챔버가 장착되어 있으며 최대 200 와트의 용량을 갖습니다. 24 인치 반지름으로, 기계는 중소형 부품을 빠르게 에치하거나 재빨리할 수 있습니다. KEM Lambda 200C에는 2개의 독립형 200W Plasma Generator 전원 공급 장치가 장착되어 있어 안정적으로 작동이 가능합니다. 또한 컴팩트 한 디자인, 낮은 소음 출력, 무진동 (Vibration-Free) 작동을 통해 푸메 후드 (Fume Hood) 또는 실험실에 배치 할 수 있습니다. 챔버는 앤티 챔버 (antechamber) 와 메인 에칭 챔버 (eching chamber) 로 구성되며 안전하고 단일 포인트 전용 터보 분자 펌프가 있습니다. KOKUSAI Lambda 200C의 에칭 및 애싱 기능도 다른 에처/애셔보다 우수합니다. 에칭 기능은 저온 플라즈마를 사용하여 상당한 열을 발생시키지 않고 유전체, 금속 및 다양한 재료를 에치 할 수 있습니다. 기계 의 "애싱 '과정 은 활성화 된 산소" 라디칼' 을 사용 하여 광물질 을 제거 하고, 층 기질 은 영향 을 받지 않게 한다. 제어 방식의 Lambda 200C는 직관적인 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스와 메모리 용량으로 사용자 친화적입니다. etcher/asher는 최대 99 개의 프로세스 레시피를 저장할 수 있으며, 이를 편집, 복제 및 저장할 수 있습니다. 더욱이, 이 모델은 수동 (manual) 모드와 프로그래밍된 (programmed) 운영 모드를 모두 갖추고 있어 보다 쉽고 효율적인 작업을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 KEM/KOKUSAI Lambda 200C는 광범위한 재료에 대해 정확하고 일관된 에칭 및 애싱 결과를 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 및 확장 플라즈마 발전기 (extended plasma generator) 전원 공급 장치를 통해 연구 개발, 대량 생산에 이상적인 선택입니다.
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