판매용 중고 KEM / KOKUSAI Lambda 200C #293642805

KEM / KOKUSAI Lambda 200C
ID: 293642805
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Asher, 8" 2001 vintage.
KEM/KOKUSAI Lambda 200C Etcher/Asher는 정확한 재료 제거, 코팅 및 박막 증착 프로세스를 위해 설계된 고성능 장비입니다. 전자 및 마이크로 일렉트로닉스 응용 분야에 일반적으로 사용되며, 실리콘, 유리, 쿼츠 및 세라믹 기판과 함께 사용하기에 적합합니다. 엄격한 프로세스 제어 및 정밀 에칭 때문에 KEM 람다 200C (KEM Lambda 200C) 는 최소 에치 속도로 매우 미세한 표면 마감과 박막 구조를 달성 할 수 있습니다. 최적 "에치 '와 증착 성능 을 위한 균일 한 온도 를 유지 하는 역할 을 하는 고급 기판 난방" 시스템' 이 갖추어져 있다. 온도 범위는 사용자가 조정할 수 있으며 -40 ° C ~ + 400 ° C까지 작동 할 수 있습니다. KOKUSAI Lambda 200C에는 정밀한 공간 나노 스케일 에칭 및 비 동력 수동 틸팅 스테이지를위한 정밀 전동 로터리 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 강력하고 효율성이 높은 사용자 친화적인 Windows 기반 소프트웨어로, 실시간 모니터링 및 동적 프로세스 제어를 제공합니다. 이를 통해 Lambda 200C는 저압 및 고압 환경에서 에치 레이트 (etch rate) 및 필름 증착 프로파일을 정확하게 모니터링하고 조정 할 수 있습니다. 에처에는 눈부심 방지 (glare-free) 뷰 포트와 에칭 및 박막 증착 공정을 관찰 할 수있는 강력한 광원이 장착되어 있습니다. 뷰 포트 (view port) 는 챔버 내부의 효율적인 청소를 촉진하고 오염 위험을 줄이기 위해 설계되었습니다. KEM/KOKUSAI Lambda 200C는 또한 고속 가스 로딩, 차단 및 연동 구성 요소로 구성된 고성능 가스 제어 시스템으로 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 가스 혼합물을 쉽게 조정하여 에칭 및 증착 성능을 최적화 할 수 있습니다. KEM Lambda 200C는 최고 수준의 정밀 에칭 및 증착이 필요한 실험실을위한 완벽한 선택입니다. KOKUSAI Lambda 200C는 단단한 프로세스 제어, 다용도 온도 범위, 탁월한 설계를 통해 탁월한 성능을 제공하여 매우 뛰어난 계측력을 제공합니다.
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