판매용 중고 KC TECH KCT-W300S #293757182
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ID: 293757182
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
PR Stripper, 12"
Process flow: SPM / BOE / SC1
2009 vintage.
KC TECH KCT-W300S는 반도체, MEMS, LED 및 기타 마이크로 일렉트로닉스 산업 내에서 정확하고 고품질 기판 처리를 위해 설계된 정교하고 혁신적인 etcher/asher 장비입니다. 이 고급 장비는 플라즈마 에칭 (Plasma Etching) 및 애싱 (Ashing) 기능을 결합하여 웨이퍼 클리닝, 디커밍, 레지스트 스트리핑, 패턴 전송 등 다양한 어플리케이션에 대해 다양하고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 컴팩트하고 인체공학적 설계를 갖춘 KCT-W300S는 최첨단 기술과 고급 (Advanced) 기능을 탑재하여 정확하고 안정적인 처리 결과를 제공합니다. 이 시스템에는 고성능 RF 플라즈마 제너레이터, 자동 압력 제어 장치, 온도 제어 모듈, 손쉬운 작동 및 모니터링을 위한 사용자 친화적 인 인터페이스가 포함되어 있습니다. KC TECH KCT-W300S (KC TECH KCT-W300S) 의 주요 특징 중 하나는 이중 모드 작동으로, 사용자가 에칭 프로세스와 애싱 프로세스를 원활하게 전환할 수 있도록 합니다. 이 유연성을 통해 기계는 실리콘, 이산화규소, 금속, 폴리머 등을 포함한 다양한 유형의 기판 및 재료를 처리 할 수 있습니다. "에칭 '과정 은 화학 반응성" 플라즈마' 를 사용 하여 기질 표면 에서 물질 을 제거 하는 것 과 "애싱 '과정 은 유기 물질 과 오염 물질 을 제거 하는 데 사용 된다. KCT-W300S 도구는 특정 응용 프로그램 요구 사항에 따라 처리 조건을 조정하는 다양한 프로세스 매개변수 조정 (예: 가스 흐름 속도, 압력 수준, 전원 설정, 처리 시간) 을 제공합니다. 이러한 매개변수의 정확한 제어는 여러 기판에서 균일하고 재현 가능한 결과를 보장하며, 이를 통해 프로세스 효율성 (process efficiency) 과 수율 (revield) 이 향상됩니다. 또한, KC TECH KCT-W300S에는 운영 중 운영자와 장비 모두를 보호하기 위해 고급 안전 기능이 있습니다. 여기에는 누출 감지 센서, 과압 보호 메커니즘, 연동 시스템, 사고를 예방하고 안전한 작업 환경을 보장하는 긴급 차단 기능 (Emergency Shut-off Function) 이 포함됩니다. 성능면에서 KCT-W300S는 고급 플라즈마 (Plasma) 기술과 최적화된 챔버 설계 덕분에 높은 처리량과 프로세스 균일성을 제공합니다. 이 자산은 에칭 속도 (eching rate) 와 애싱 속도 (ashing rate) 를 높여 반도체 제조 및 연구 응용의 처리 시간을 단축하고 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 KC TECH KCT-W300S (KC TECH KCT-W300S) 는 간편한 유지 관리 및 서비스 (서비스) 를 위해 설계되었으며, 액세스 가능한 구성 요소와 사용 가능한 부품을 빠르고 번거롭게 교체할 수 있는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 즉, 다운타임을 최소화하고, 모델이 항상 작동 상태를 유지함으로써, 전체 장비 효율성 및 비용 절감 효과를 높일 수 있습니다. 전반적으로 KCT-W300S etcher/asher 장비는 까다로운 마이크로일렉트로닉스 처리 어플리케이션을 위한 최첨단 솔루션으로, 컴팩트하고 사용자 친화적인 패키지에서 뛰어난 성능, 유연성, 효율성을 제공합니다. 첨단 기능, 기능을 갖춘 이 장비는 정확도, 안정성, 고화질 (High Process Quality) 이 필수적인 연구/운영 환경에 적합합니다.
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