판매용 중고 JESAGI JSPCS-750 #9253518

JESAGI JSPCS-750은 고급 멀티 빔 기술과 정밀 프로세스 제어를 갖춘 최첨단 etcher/asher입니다. 이 시스템은 FOUP 로더 격리가있는 진공 챔버 (vacuum chamber) 로 둘러싸여 있어 뛰어난 반복성과 정확한 박막 결과를 제공합니다. JSPCS-750 은 고급 nanofabrication 프로세스에 이상적이며, wafer 당 20 초의 주기 시간으로 낮은 볼륨 생산이 가능합니다. JESAGI JSPCS-750은 전체 웨이퍼에 걸쳐 입자가없는, 저조도, 균일성으로 최고 품질의 에칭 및 애싱 결과를 생성 할 수 있습니다. 단일 프로세스에서 여러 애플리케이션에 이상적인 동시 멀티빔 (multi-beam) 작동이 가능하므로 높은 처리량과 정확도를 위해 설계되었습니다. 멀티 빔 기술은 또한 저렴한 운영과 최소한의 유지 관리를 제공합니다. 안정성과 장기적 성능을 지원하기 위해 JSPCS-750 (JSPCS-750) 에는 다양한 센서와 자동화된 피드백 알고리즘이 장착되어 있어 균일성 (unifority) 및 에치 (etch) 품질을 제어합니다. JESAGI JSPCS-750에는 고급 에칭 및 애싱을위한 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 첨단 비활성 에칭 (inert etching) 기술은 다양한 가스를 지원하여 밀도가 낮은 높은 에칭 속도에 도달 할 수 있습니다. 반응 챔버는 또한 290 ° C ~ 800 ° C 사이의 온도에 도달하여 다양한 필름 두께를 만들 수 있습니다. 챔버에는 공정 후 빠른 냉각을위한 통합 기판 쿨러도 있습니다. 또한 JSPCS-750은 프로세스 반복성을 높이기 위해 클리닝 주기를 제공합니다. 이 클리닝 사이클은 반도체 응용 프로그램에 이상적입니다. O2 가스 소비량이 적어 통합 운영 비용이 절감됩니다. FOUP 로드를 통한 통합 자동화는 빠르고 효율적인 처리량을 제공합니다. 이 시스템에는 대형 그래픽 디스플레이와 직관적인 터치 스크린 인터페이스도 있습니다. JESAGI JPSCS-750은 광범위한 프로세스에 걸쳐 우수한 결과를 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 고급 멀티 빔 기술, 정밀 프로세스 제어, 통합 자동화, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 고급 nanofabrication 애플리케이션을 위한 최적의 선택이 가능합니다.