판매용 중고 JESAGI JSPCS-600G #293635086

JESAGI JSPCS-600G 에칭 장비는 고정밀 에칭 및 고해상도 포토 esist 스트리핑이 필요한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 시스템에는 고성능 직류 (DC) 스퍼터링 소스가 장착되어 있습니다. 알루미늄, 구리, 유리, 스테인리스 스틸 등 다양한 재료를 에칭하는 데 적합합니다. 이 장치는 또한 뛰어난 포토 esist 스트리핑 기능을 제공합니다. JSPCS-600G에는 각각 독립적 인 공정 챔버 및 플래튼이있는 4 챔버 디자인이 있습니다. 공정 챔버는 다양한 웨이퍼를 수용하고 직경은 최대 8 "입니다. 에칭을위한 이온 소스, 에칭을위한 필라멘트, 포토 esist 스트리핑을위한 RF 플라즈마 생성기로 설계되었습니다. 6-NC 타워는 에칭 속도, 선택성 및 에칭 깊이를 정확하게 제어하여 에치 결과를 세밀하게 튜닝 할 수 있습니다. 또한이 기계는 최대 20 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 진공 웨이퍼 클램핑 메커니즘을 갖춘 효율적이고 진공 밀폐형, 고 처리량 웨이퍼 캐리어를 갖추고 있습니다. 이 도구에는 자체 공정 제어 소프트웨어 (etching and photoresist stripping time and results) 를 최적화하기 위해 프로그래밍되었습니다. 소프트웨어에는 몇 가지 미리 정의된 제어 매개변수 (control parameter) 와 에칭 프로세스를 사용자정의하는 기능이 있습니다. 에셋은 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하여 제어 매개변수에 쉽게 액세스하고 수정할 수 있습니다. JESAGI JSPCS-600G는 프로세스 매개 변수를 실시간으로 모니터링하는 고급 센서 패키지를 제공합니다. 이를 통해 최대 에칭 및 포토 esist 스트립핑 성능이 일관되게 유지됩니다. 이 모델은 또한 완전히 프로그래밍 가능하고 사용자 정의 가능한 매개변수로 프로세스 자동화를 지원합니다. JSPCS-600G 는 종합적인 현장 사용자 교육/유지 보수 패키지와 예비 부품 가용성을 제공합니다. 요약하자면, JESAGI JSPCS-600G는 다양한 복잡성의 에칭 및 포토 esist 스트리핑 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 고급 4 챔버 디자인, 고정밀 직류 스퍼터링 소스, 효율적인 웨이퍼 캐리어는 안정적이고 사용하기 쉬운 장비입니다. 직관적인 프로세스 제어 소프트웨어 (사용자 정의 가능한 에칭 및 스트리핑 프로세스) 는 사용자가 에칭 및 포토레시스트 스트리핑 (photoresist stripping) 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있도록 합니다. 시스템의 고급 센서 패키지는 유지 관리 요구 사항이 최소화되어 일관성 있는 최종 결과를 보장합니다.